中古 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9210946 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3000は、高度なリソグラフィ処理のためのウェットステーションです。この装置は、DIOS（有機溶媒のダイレクトイメージング）プロセスを利用しており、フォトマスクを正確にアライメントするための精密ステージを備えています。また、発光ダイオード（LED）プロジェクターと露出センサーを備えており、ドライフィルムコートを必要とせずに高いスループットで正確な生産が可能です。このユニットは、0。5ミクロン以下の解像度で直径5〜300mmのウェーハを処理することができ、ナノスケールのデバイス印刷に最適です。さらに、小型ポジショナーモータと高速アライメントツールを内蔵しているため、高解像度のリソグラフィーシステムに不可欠な再現可能な精度で正確なアライメントを維持することができます。DNS FC3000は、クロムマスキング、eビームマスキング、メタルシール、反射防止（AR）、カラーフィルター（CF）技術など、さまざまなフォトマスクを扱うように設計されています。このアセットのDIOSプロセスは、フォトマスクの欠陥に影響されない高速露光時間を可能にし、優れたパターン再生のための横および垂直チャンネルの印刷を可能にします。DAINIPPON FC 3000は、オペレータがリソグラフィ処理のあらゆる側面を完全に制御できるように、さまざまなソフトウェア機能とツールを備えています。これらには、適切な露出時間の決定、マスキングシステム間のデータの管理と転送、フォーカスと露出パラメータの制御などが含まれます。このモデルには、直感的なユーザーインターフェイスと、望ましい結果の品質を迅速に保証するための自動テスト機能も含まれています。さらに、この装置はさまざまな統合校正/計測ソリューションと統合されており、オペレータはプロセス制御の最高精度を維持することができます。これにより、フォトマスクとターゲットパターンのずれを検出し、リソグラフィー処理中に修正することができます。全体として、DNS/DAINIPPON FC 3000は、精密リソグラフィ加工に最も期待される高度なウェットステーションです。DIOSプロセス、高速アライメントシステム、さまざまなソフトウェア機能を備えており、毎回正確な結果を保証します。このユニットは、キャリブレーション/計測ソリューションと直感的なユーザーインターフェースを内蔵しており、再現性と精度の高いナノスケールデバイスの製造に最適です。