中古 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9000962 を販売中

DNS/DAINIPPON FC-3000は、高度な半導体製造アプリケーションでウェットプロセスウェーハ基板に設計されたウェットステーションです。ウェットケミカルクリーニングやその他の高度な処理能力を備え、最大14個のウェハを1回の実行で収容することができます。研究開発ラボや生産設備で広く使用されています。DNS FC3000の中心には、その主要な処理タンクがあります。このタンクは、ユーザー定義のパラメータの液体浴で満たされており、動的かつ正確な洗浄プロセスを介してウェーハに材料を同時にクリーニング、エッチング、および堆積するように設計されています。タンクには、4つの攪拌機が取り付けられたメインチャンバーと、タンクの中をウェハが移動するようにする吸引効果を生み出すロータリーポンプがあります。タンクには16個のポートが装備されており、それぞれにウェーハにウェットケミカルソリューションのスプレーを取り付ける複数の個別ノズルが含まれています。これにより、精密で均一な化学アプリケーションが可能になり、複数のウェハを同時に処理することができます。DAINIPPON FC 3000の主な特徴の1つは、その高度な安全メカニズムです。装置は完全に囲まれており、危険な化学物質へのオペレータの暴露を減らし、システムの障害を迅速に検出し、それをシャットダウンし、問題をオペレータに警告することができる圧力および温度センサーが取り付けられています。また、漏れ検知ユニットと空気圧制御機器を搭載した大日本FC3000。FC3000は、デカミング、エッチング、ストリッピング、レジスト除去、不動態化、コーティングなど、さまざまな処理機能を提供します。幅広いウエハサイズに対応でき、一度に複数のウエハーを処理することができます。このツールは、ポートごとに最大5つのウェーハを同時に処理することも可能で、迅速なターンアラウンドタイムとスループットを実現します。DNS FC-3000は、高度な研究開発ラボや生産設備に最適なツールです。高度な安全機能、高精度プロセス制御、自動化されたパラメータにより、信頼性の高い動作と一貫した結果が得られます。汎用性の高いツールで、幅広い処理能力を提供し、幅広いウエハサイズに対応できます。DNS/DAINIPPON FC 3000は、先進的な半導体製造アプリケーションに最適で、コスト効率が高く信頼性の高いウェット処理ソリューションを提供できます。