中古 DNS / DAINIPPON 820L #9408632 を販売中
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DNS/DAINIPPON 820Lウェットステーションは、シリコンウェハーなどの基板に安全で効率的で費用対効果の高い高速洗浄を提供するために設計された最先端の機器です。この装置は、基板の完全性と品質を維持しながら、ウェーハ表面から薄膜などの汚染物質を除去する高度なドライインプレースプロセスを利用しています。DNS 820Lは、Ikanaf 8200、 Lakeaf 8200、 Helios 8200の3モデルで提供されます。これらのモデルはすべて、基板上の集積回路に損傷を与えることなく、有機薄膜やその他の薄膜汚染物質のプロセス・クリティカル洗浄用の高圧湿式ノズルを備えています。さらに、オンボードコントロールシステムを搭載し、温度や圧力を制御して最適な洗浄結果を得ることができます。ダイニッポン820Lは、ウェーハ表面からさまざまな汚染物質を除去するために、物理プロセスと化学プロセスの組み合わせを利用しています。まず、ウェーハ表面に高圧濾過水を塗布し、25nm以上の粒子を除去します。第二に、高度な酸化技術は、高圧水爆によって除去されないほこり、酸化物および他の小さな汚染物質の小さな粒子を根絶するために使用されます。820Lは、技術レベルに関係なく、すべてのユーザーが迅速かつ正確にクリーニングプロセスを実行できるように、シンプルでユーザーフレンドリーに設計されています。また、大量のウエハを迅速かつ効率的に処理することができるため、1台で大小の基板を洗浄することができます。さらに、DNS/DAINIPPON 820Lには、湿った物質や腐食性の物質を誤ってシステムに導入しないよう、安全インターロックなどの高度な安全機能が搭載されています。要するに、DNS 820Lウェットステーションは、シリコンウェーハの高速クリーニングを提供し、ウェーハ表面から薄膜などの汚染物質を除去し、損傷を最小限に抑えるように設計された先進的なユニットです。このマシンは、ユーザーフレンドリーで大量のロットを迅速かつ効率的に処理できる高度なドライインプレースプロセスを利用しています。また、ダイニッポン820Lには、ユーザーの安全と保護のための安全インターロックが装備されています。
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