中古 ASE Etcher #293665553 を販売中

ASE Etcherは、半導体加工で不要な材料をエッチングし、包装用のシリコンデバイスを準備するために使用されるウェットステーションです。エッチング処理は、基板を様々な表面層を除去するケミカルバスにさらすことを含みます。エッチャーには、エッチングする材料によって異なる溶液で満たすことができる溶液浴が含まれています。エッチングプロセスは高精度であり、エッチングプロセスの温度、濃度、持続時間を調整することによって制御することができます。ケミカルバスを監視し、正確なエッチングを可能にするセンサーや機器を備えています。ASEエッチャーはケミカルソースキャリア（CSC）で設計されています。CSCは、エッチングに使用されるさまざまな化学物質を分配するようにプログラムされたロボットシステムです。エッチングプロセスに応じて、酸、溶剤、研磨剤などのさまざまな種類の化学物質を使用できます。CSCは、エッチングサイクル間の基板の洗浄に使用される洗浄液にも使用できます。CSCは、エチャント溶液の濃度、温度、攪拌および流量を制御することができます。エッチャーには、お風呂の温度を調節し、エッチング処理に適した環境を提供できるヒーターと冷却システムが装備されています。さらに、ASE Etcherには多数のポンプと配管が装備されており、溶液の流れを制御し、温度を調節するのに役立ちます。これにより、エッチング処理の精度が向上し、結果が向上します。エッチャーには、危険な発煙や流出からオペレータを保護するためのさまざまな安全機能もあります。防爆蓋、オーバーフロー検出システム、および水冷壁を備えており、熱や危険な蒸気の蓄積を防ぎます。さらに、発煙抽出器は、エッチング処理中に生成される有害な発煙や蒸気を抽出するのに役立ちます。全体として、ASE Etcherは高精度で効率的なウェットステーションであり、シリコンなどの基板をエッチングして包装するのに最適です。これは、エッチング処理を行いながらオペレータが安全であることを保証するために、さまざまな安全機能を備えて設計されています。ロボットケミカルソースキャリアは、エッチングプロセスを正確に制御し、一貫した結果を提供します。