中古 AKRION V3 #9158296 を販売中

AKRION V3
製造業者
AKRION
モデル
V3
ID: 9158296
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Chemical resist stripper, 8" 2004 vintage.
AKRION V3は、AKRION Technologiesが開発した次世代ウェットステーションです。これは、精密リソグラフィ、材料改質、基板の生体適合コーティング、局所欠陥検出など、幅広い用途に幅広いウェットステーションサービスを提供するように設計されています。V3の主成分は、ノズル、シリンジ、バルブなど、さまざまな液体分注ツールを搭載した液体処理装置です。液体処理システムの精度は、ロボットソリューションとサーボ制御バルブの実装によって最大化され、ユニット全体で最適な液体流量が達成されます。これにより、機械によって分配されたすべての流体が、湿式ステーション作業に適した一貫した品質と精度であることが保証されます。AKRION V3ウェットステーションは、特許取得済みのマルチポイントピロメーターと複数の基板ヒーターを使用しており、均一なカバレッジで正確かつ正確に熱的に制御された変更を可能にします。このツールは、特定の要件に応じた基板のパターニング、さまざまな温度での基板のコーティング、液体ハンドラから分配された流体の精密なモデレーションなど、幅広い熱用途に適しています。V3は液体処理機能のほかに、さまざまなセンサーや制御モジュールを備えており、基板内の局所的および広範囲の欠陥、およびミクロンスケールのダイやウェーハなどの特定のコンポーネントの有無を検出することができます。これにより、特定の変更が行われる前に基板の詳細な分析とレビューが可能になります。さらに、AKRION V3には、安全遮断アセット、インターロックスイッチ、緊急警報モデルなど、最新の診断および安全技術が組み込まれています。これにより、ステーションのユーザーは潜在的に危険な操作から保護され、作業が環境上の危険から保護されます。結論として、V3は最新の液体処理、熱変化、欠陥検出、および安全コンポーネントを備えた先進の湿式ステーションです。これは、製造プロセスに包括的な湿式ステーションを導入しようとしている人にとって理想的なソリューションです。この強力なソリューションにより、幅広いアプリケーションで生産性の向上と精度の向上を実現します。
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