中古 AKRION UP-V2 SA 3000 #9244629 を販売中

AKRION UP-V2 SA 3000ウェットステーションは、半導体ウェハの精密な化学表面洗浄を実現する柔軟で高度に自動化されたウェハ処理プラットフォームです。無線周波数（RF）コンポーネントのバックエンド処理に最も広く使用されているウェットステーションの1つです。このウェットステーションは、簡単な洗浄から複雑なエッチング処理まで、包括的なウェットケミカル処理を提供します。UP-V2 SA 3000は、フォトレジスト除去、有機汚染除去、銅ストリップなど、さまざまな用途にハイスループットで再現可能な操作を提供します。AKRION UP-V2 SA 3000は垂直モジュラーアーキテクチャで設計されています。構成は、ベースモジュール、蓋モジュール、ウェーハキャリア、および複数のディッパーアームで構成されています。ベースモジュールは、ドライバー、センシング、および制御エレクトロニクスの最大10個の個別モジュールをサポートします。UP-V2 SA 3000の中核となるのは、高度で高速なSoCコントローラで、正確なウェーハトラッキングとビジョンを実現するリアルタイムデータを提供します。高度なディッパーアームは、ウェーハの精密表面洗浄のための手動または完全に自動化された操作を提供します。AKRION UP-V2 SA 3000には、中性および酸性の溶液、フォトレジストリムーバー、界面活性剤、およびその他の洗浄ソリューションなど、さまざまな湿式処理化学製品が搭載されています。ステーションは、複数のレベルの組み込みの安全機能で設計されています。システムの自動シャットダウン機能は、ウェーハを危険な化学レベルから保護し、複数のウェーハ安全検出器がウェーハの詰め込みや誤配置を監視します。UP-V2 SA 3000は、優れた信頼性、耐食性、耐薬品性を提供する耐久性のある材料で構成されています。また、自動ウェハ品質管理システムとの互換性のために、専用の認証およびデータ転送ポートも備えています。さらに、AKRION UP-V2 SA 3000は、生産性を向上させるネットワーク機能を提供します。全体として、UP-V2 SA 3000は、最先端の半導体ウェーハ表面洗浄用の信頼性と直感的なウェットステーションです。このステーションは、高精度で再現性の高い結果を得ることができます。AKRION UP-V2 SA 3000は、最適なウェハ保護と直感的なネットワーク機能を備えた複数の安全機能を備えており、半導体ウェット処理施設に最適です。