中古 AKRION Mach2HP #9209820 を販売中

AKRION Mach2HPウェットステーションは、基板洗浄、表面処理、エッチング、コーティング熱処理用の強力で高度な湿式化学処理装置です。シングルウェーハやフラットパネルサイズなど、幅広いサイズや形状の基板を正確に加工する3つのユニークなモジュールを備えています。モジュールには、調節可能なスピン速度の化学処理チャンバー、スプレーチャンバー、スピンリンスユニットが含まれます。Mach2HPの化学処理室は、基板をきれいにし、準備し、エッチングし、処理するように設計されています。それは十分にプログラム可能で、回転速度、時間、温度および圧力のような変数の精密な制御を、可能にします。チャンバーには、液体供給、排気、循環およびろ過タンクが装備されており、クローズドループ形式で動作することができます。その上、ステーションは水平または水中環境で動作するように設計されており、さまざまな基板のクリーニングとエッチングに適しています。AKRION Mach2HPスプレーチャンバーは、基板の均一な処理を行うために使用されます。2軸調整可能なカルーセルにより、正確なコーティング、スプレー、エッチング操作が可能です。シングルウエハやフラットパネルサイズなど、1、2、3次元の処理が可能です。さらに、スプレーチャンバーには、温度検出プローブと非接触温度測定のための複数のアクセスポートが装備されています。Mach2HPのスピンリンスユニットは、コーティング熱処理の前後に基板から余分な残留物を除去するために使用されます。このユニットは、調整可能なスピン速度を備えた強力な2軸電動プラットフォームであり、基板の正確な洗浄と乾燥を可能にします。広い温度範囲で動作するように設計されており、内蔵の温度制御システムにより、蒸発速度を正確に制御できます。全体的に、AKRION Mach2HPウェットステーションは、幅広い形状およびサイズの基板を正確に洗浄、準備、エッチング、および処理するために設計された強力な基板ウェット処理ユニットです。モジュラーマシンは、エレクトロニクスから再生可能エネルギーまで、さまざまな産業に最適であり、安全で閉じたループツールで基板の正確な制御と均一な処理を提供します。