中古 AKRION GAMA #9278669 を販売中

AKRION GAMA
製造業者
AKRION
モデル
GAMA
ID: 9278669
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1997
Wet bench, 6" Configuration: SMS H3P04 Bench Process: Nitride/Oxide wet etch 1997 vintage.
AKRION GAMAは、半導体回路の製造における金属の前処理とエッチングのためのウェットステーションです。金属の異なる異方性の特性を利用して金属のパターンを作成するために使用されます。ステーションは強力な酸化剤を使用して、金属を所望のパターンに溶解します。一般的に、GAMAは反応室、エッチング室、エッチング室、化学処理システムの4つの主要なコンポーネントで構成されています。エッチング剤は強力な酸化剤であり、通常は酸または酸の混合物です。このエージェントは、適切な割合で、適切な条件下で使用すると、希望するパターンを作成するために特定の金属を溶解します。反応チャンバーは、エッチング剤を導入し、エッチング処理を行う領域です。反応チャンバーは密閉された流体密閉容器によって現実世界から分離されます。この容器はエッチングチャンバーとして知られています。エッチングチャンバーには、さまざまなコンポーネントが装備されています。これらには、エッチングプロセスを最適化するための蒸気封じ込めチャンバー、金属フィラー、バッフルが含まれます。化学処理システムは、エッチング剤を正確に測定し、その流れを制御するために動作します。これは、所望の結果を達成するために正確なエッチパラメータにチューニングすることができるコンピュータプログラムに似ています。このシステムは、精密で均一な金属溶解を維持するためにも校正する必要があります。適切なレシピを選択すると、エッチング液がエッチング室に注ぎ込まれます。温度が上昇し、エッチングチャンバーの表面で反応する金属が蒸発します。金属が蒸発すると、それはエッチングと結合し、パターンが形成され始めます。プロセスの精度は、エッチング濃度と温度の正確な制御に依存します。AKRION GAMAはパワフルな金属エッチングと前処理ステーションです。それは金属が均一な方法で取除かれることを保障するために変数の精密な制御を可能にします。GAMAは、複雑な金属半導体部品の製造に使用することができ、半導体業界にとって貴重なツールです。
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