中古 AKRION GAMA #9210939 を販売中

AKRION GAMAは、AKRION Systemsが開発・設計したウェットステーションです。高精度のエッチング、洗浄、めっき、成膜に使用される自動化自動式ステーションです。このウェットステーションは、MEMSやNEMSアプリケーションなどのマイクロエレクトロニクスデバイス処理に最適です。様々な素材や基材に優れたエッチングの均一性とプロセスの再現性を提供します。GAMAのぬれた場所は優秀なプロセス制御および性能を達成するために造られる最先端の、耐久の技術を利用します。ステーションは、顧客のニーズを満たすために簡単に構成することができます高度なポンプと流通システムを備えています。ステーションにはクローズドループ制御装置もあり、プロセス制御と監視を簡素化します。AKRION GAMAは、幅広いプロセスソリューションを提供しています。ステーションは完全に構成可能であり、シリコン、誘電体、窒化ケイ素、銅および他の金属を含む異なった基質材料を、処理できます。それはより大きいシステムに統合することができるモジュラーステーションです。GAMAは密閉された表面と排気で設計されており、安全で環境にやさしいウェットステーションとなっています。プロセスの化学薬品は密封された容器で自動的にプロセス部屋に投与される貯えられます。これにより、有害物質が環境に侵入するのを防ぎます。AKRION GAMAは、精密な検査とアライメントを可能にする超高解像度の光学ユニットを搭載しています。多様な用途に対応するため、複数のプロセス化学チャンバーをご用意しています。このステーションには、最適なプロセス結果を得るために流体を正確に計測するために使用される差動ポンプも含まれています。さらに、ステーションの温度制御装置は、大量生産中に一貫した結果を保証します。GAMAは、プロセスの適応と最適化の柔軟性を提供します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとレシピエディタにより、ステーションのセットアップとプログラムが簡単になります。このソフトウェアは高度にカスタマイズ可能であり、最大50の異なるプロセスを処理することができます。ソフトウェアはまた、最適な結果を得るためにプロセスパラメータを手動で制御することができます。AKRION GAMAは、優れたエッチングと洗浄性能を提供する実績のある信頼性と耐久性のあるウェットステーションです。このウェットステーションは、優れたプロセス制御と再現性を提供し、優れたデバイス歩留まりと信頼性を保証します。マイクロエレクトロニクスデバイス製造アプリケーションに最適なウェットステーションです。