中古 AKRION GAMA #9047520 を販売中

AKRION GAMAウェットステーションは、半導体およびマイクロエレクトロニクス製品の製造に使用される、完全に自動化された精密ベースのウェット処理装置です。エッチング、めっき、エッチング/ストリップ洗浄、化学機械研磨（CMP）、デカミングなど、さまざまなウェットプロセス操作に使用できます。GAMAは、プロセスチャンバー、プレナム、ポンプ、流通システムなど、いくつかのサブシステムで構成されています。プロセスチャンバーはウェットステーションのメインユニットであり、ウェットプロセス動作中の温度や圧力などのプロセスパラメータを制御するために使用されます。プレナムは、エッチング/パッシベーションプロセスの安定した一貫した雰囲気を確保するために、低圧領域を有するチャンバーです。プレナムは再循環ポンプを使用して、気体と液体の混合物をチャンバープロセスを通して移動およびろ過します。ポンプマシンは、プロセスのための液体化学を引き込み、循環させます。流通ツールは、信頼性の高い配管ネットワークを使用して、ポンプ資産からプロセスチャンバに液体化学を分配します。AKRION GAMAウェット処理モデルには、正確なウェット処理を可能にするいくつかの機能があります。湿式プロセス制御装置を内蔵しており、温度および圧力制御、化学モニタリング、エッチング処理など、複数の事前プログラム処理機能を備えています。レシピライブラリを使用すると、同じプロセスを同じ結果で繰り返すために、プロセスレシピを簡単にセットアップできます。このシステムには、プロセスの問題のトラブルシューティングを容易にするためのリモート診断機能も含まれています。効果的な処理パラメータは、GAMAウェット処理ユニットを使用して簡単に調整できます。温度、圧力、pH、およびガス分布はすべて調節可能であり、湿式プロセス操作の一貫した正確な結果を保証するのに役立ちます。また、超薄型金属膜の成膜を可能にするイオンメッキ構成などの特長も備えています。AKRION GAMAウェット加工ツールは、エッチング工程に無電解エッチング素材を使用し、均一で正確なエッチング工程を実現します。めっきには、真空スパッタリング、直流、パルス電流メッキなど、幅広いメッキ方法があります。また、リアクティブイオンエッチングやイオンミリングなどのデカミング機能も備えています。全体的に、GAMAウェット処理システムは信頼性の高い正確なウェット処理ユニットであり、ユーザーに最高のリソグラフィック結果を提供するように設計されています。あらゆるウェットプロセス操作に使用でき、現在の先進的な半導体およびマイクロエレクトロニクス製品の要求に対応できます。