中古 AKRION AWP #9192021 を販売中

AKRION AWPウェットステーションは、ウェハスケール処理を既存のリソグラフィーシステムに統合するために設計された革新的なウェット処理ツールです。このステーションは、高度に自動化されたコンパクトで統合されたプラットフォームで、高度な洗浄、開発、エッチング、ストリップ、蒸着プロセス機能を提供します。これは、信頼性と再現性の高いナノスケール処理を必要とする人にとって理想的なソリューションです。AWPウェットステーションは、特定のプロセスのニーズに合わせてカスタマイズでき、カスタムプロセス要件を満たすためにカスタマイズされたコンポーネントを含めるようにカスタマイズできます。ステーションは、モジュラーおよび自律的な動作を可能にするために精密なプロセスモジュールが取り付けられているボディ付きベースコンセプトに基づいています。ケミカルバスコントローラ、スピニングプロセス、スプレーシステム、ハイスループットモジュール、光学検査、データ取得など、さまざまな構成可能なコンポーネントを提供します。AKRION AWPウェットステーションは、高度なロボット制御プロセスモジュール操作システムを備えた高度なオートメーションプラットフォームを備えています。このモジュールは、サイクルタイムを最適化し、すべてのコンポーネント間のシームレスな通信を提供するように設計されています。また、プロセス監視機能を備えた高レベルのソフトウェアインターフェイスを備えており、直感的なユーザーエクスペリエンスを提供します。AWPウェットステーションは、最高の精度と制御のために構築されており、ナノメートルレベルの精度で優れたプロセスパフォーマンスを提供します。ステーションには複数のウェーハを同時に使用してプロセスを実行する機能があり、迅速な納期が可能です。さらに、ウェーハ間のアライメントとサンプル移動のための自動化されたプロセスも含まれています。AKRION AWPウェットステーションは、プロセスのスループットを向上させ、変動を最小限に抑え、プロセスを自動化して高効率な製造を実現するように設計されています。また、長期的な信頼性とメンテナンスにも最適で、プロセスツールをほこりや損傷から保護します。さらに、クリーンルームにも対応し、優れた粒子や汚染防止機能を備えています。AWPウェットステーションは、大量の半導体製造要件に対応するために、高度に自動化された、費用対効果の高い、信頼性の高いウェットプロセッシングソリューションを提供します。これは、ウェーハ処理を次のレベルに引き上げるための完全なターンキーシステムです。