中古 AKRION AWP #9141996 を販売中
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ID: 9141996
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Wet process system, 8"
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Parker
Module configuration :
Mod 1 (Process) : DSP
ƒChem : H2SO4/HF 13:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Auxiliary) : AUX
Mod 4 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Buffer) : PP
Mod 6 (Transfer) : Transfer station
Mod 6 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
2001 vintage.
AKRION AWP （Advanced Wet Processing）はウェハーの自動生産用に設計されたウェットステーションです。ウェハクリーニング、表面処理、エッチング、ボンディング、リソグラフィなど、さまざまなウェットケミカル加工が可能です。AWPステーションには、カスタムデザインのウェハホルダー、ロボットアーム、計量機器、流体管理システムなど、自動ウェット処理に必要なすべてのコンポーネントが含まれています。ウェーハホルダーは、処理中にウェーハを確実に固定し、滑らない、汚染されないように設計されています。ロボットアームは正確にプログラムされた動きを使用して、ウェーハをステーションの所望の処理領域に正確に配置します。また、ウェーハに標準液量を正確に測定するようにプログラムすることもできます。計量ユニットは正確で反応性の高いデジタルスケールであり、複雑なアルゴリズムを使用してウェットウェハスタックの重量の小さな変化を検出し、ステーションの積み下ろしを促進します。流体管理装置はステーションに統合され、ウェーハへの安定した信頼性の高い液体の流れを提供します。また、2つのマイクロ流体混合モジュールで構成されており、材料の正確な化学投与を可能にします。AKRION AWPステーションには、耐薬品性フロアーリング、アラームツール内蔵、作業エリア周辺の安全フェンス、および危険な液体や蒸気への曝露リスクを低減するための換気フードなど、オペレータの安全を確保するための多数の安全制御が装備されています。さらに、AWPは耐水性のエンクロージャで設計されており、作業スペースへの水や他の汚染物質の侵入を防ぎます。結論として、AKRION AWPは高度なウェット処理ステーションであり、高度に自動化された効率的なウェハ生産を可能にします。その堅牢で安全な設計、精密なロボットアームと計量資産、および優れた流体管理モデルにより、多種多様な湿式化学処理作業を行うことができる非常に信頼性の高い機器となります。
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