中古 AKRION AWP #9141985 を販売中
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ID: 9141985
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Wet process system, 8"
Type : BOE
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Asyst integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Hauser HDX115C6-885
Module configuration :
Mod 1 (Process) : BHF
ƒChem : BHF 400:1
ƒTemp : 23°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Process) : BHF
ƒChem : BHF 40:1
ƒTemp : 23°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 4 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 6 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 7 (Auxiliary) : AUX
Mod 8 (Buffer) : PP
Mod 9 (Transfer) : Transfer station
Mod 9 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
BHF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
IPA : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (25kVA), 60A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (8.5kVA), 30A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
1996 vintage.
AKRION AWP （Advanced Wet Processing）は、AKRION Systemsが開発したウェットステーションです。これは、フロントエンド・オブ・ラインやバックエンド・オブ・ライン（BEOL）プロセスなど、さまざまな先進的な半導体アプリケーションでの精密ウェーハの製造と処理を目的として設計されています。AWPは、完全に自動化されたウェットプロセス生産ラインを備えており、大きなフットプリントと高スループットを備えています。最大228個のウェーハ処理スロットを同時に処理できるプラットフォームを搭載し、455個まで拡張可能です。システム全体のモジュール設計により、ダウンタイムと再作業を最小限に抑え、高いプロセス効率を実現します。ステーションには多軸ロボットアームユニットがあり、プリプロセスとポストプロセスの間のウェーハのシームレスな移動に使用されます。ロボットアームは、ウェーハをある位置から別の位置に回転させるようにプログラムすることができ、最大155個のカセットやキャリアを保持することができます。また、インラインウェーハスキャナを搭載し、ウェーハ表面の均一性を継続的に確認することができます。AKRION AWPは、高度な計測ソフトウェアパッケージを備えたプロセスチャンバーを備えており、高精度の測定と分析を提供します。統合データロギングソフトウェアを使用すると、温度、ガスの流れ、圧力などの製造統計を監視およびログ化できます。さらに、このステーションには統合された機械学習アルゴリズムがあり、最適なパフォーマンスを得るための最適なプロセスパラメータを正確に決定できます。このステーションは、スピンコーティング、化学ウェットエッチング、リソグラフィ、化学機械研磨（CMP）、ウェハクリーニングなど、幅広いウェットプロセス機能を備えています。また、湿度モニタリングや振動センシングなど、さまざまなプロセス制御システムを備えており、正確で自動化されたプロセス制御を実現しています。統合されたプロセス制御アルゴリズムは、ツールが高効率で動作することをさらに保証します。この資産は、温度、圧力、流れ、湿度、ガス濃度などの幅広いプロセスパラメータを処理することができます。さらに、統合された安全システムには、加圧環境での事故を防ぐための圧力に敏感な安全弁が含まれています。これらの機能と機能のすべてが組み合わされ、AWPは市場で最も先進的で効率的なウェットステーションソリューションの1つになります。AKRION AWPは、堅牢な設計、高スループット、およびプロセス制御により、BEOLやMEMSデバイス製造などの幅広い最先端の半導体アプリケーションに適しています。
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