中古 AKRION AWP #9141974 を販売中
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ID: 9141974
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet process system, 8"
Type : CP / H2O2
Install type : Stand-Alone
Process flow: L -> R
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Hauser
Module configuration :
Mod 1 (Process) : BSG
ƒChem : H2SO4/HF 16:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 4 (Process) : PHOS
ƒChem : H3PO4
ƒTemp : 155°C
ƒER-OX : 40+/-8, PT-OX: 100
ƒER-SIN : 48+/-6, PT-SIN: 60
ƒU%-OX: 20, U%-SIN: 5
Material type : Quartz tank
Mod 4 (Rinse) : QDR (Hot)
ƒTemp : 50°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Rinse) : Final rinse (FR)
ƒMegasonic option
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 6 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 6 (Aux) : Auxiliary place
Mod 7 (Buffer) : PP
Mod 8 (Transfer) : Transfer station
Mod 8 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals:
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
H3PO4 (PFA material)
HCL (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC(12kVA), 60A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (8kVA), 23A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
1997 vintage.
AKRION AWPは、印刷前の基板の洗浄、コンディショニング、調製に優れたウェットステーションです。AWPは、噴霧スプレー浸透水装置を使用して、ロールベース基板とWebベース基板の両方を含む水系洗浄液を基板に供給します。環境コンプライアンスと優れた印刷品質と汎用性の両方を提供するように設計されています。AKRION AWPシステムは、基板の濡れ洗浄にマルチステージサイクルを採用し、可変圧力ノズルと流量特性を最適化し、一貫した均一なスプレーパターンを実現しています。これにより、基板のすべての領域が洗浄液でよく覆われており、過剰なスプレーが最小限に抑えられます。ノズルは、幅広い基板幅と長さをカバーするように調整可能であり、レリーフ、テクスチャ、パターン機能を備えた基板を含むWebベースおよびロールベースの基板の両方に対応できます。AWPは、基板洗浄とコンディショニングに最適な結果を得るために、多くの機械的および化学的プロセスを使用しています。まず、脱イオン水と洗剤の加圧スプレーを使用して基板をあらかじめ洗浄します。これに続いて、動的な脱イオン水洗浄が行われます。最後に、基板は紫外線と化学混合物で調節されます。このプロセスは、その後の印刷プロセスのためにきれいでよくプライミングされた表面を保証します。AKRION AWPには、統合排水管理ユニットやLow-E®断熱材など、さまざまな環境機能があります。これにより、AWPはエネルギー効率が高く、環境にとって安全であり、水と化学物質の消費量が少ないように設計されています。さらに、UL、 CE、 ROHSに準拠しています。AKRION AWPは、プリプリントプロセス全体を最適に実行するための高度な機能を多数提供しています。これらには、正確なプロセス制御、継続的な自己監査ツール、噴霧が検出されないときにアセットを一時停止する自動停止モードを保証する統合センサマシンが含まれます。全体的に、AWPは優れた機能と機能を提供するウェットステーションであり、印刷用の基板をきれいにし、状態を整え、準備する優れた方法です。優れた性能と環境コンプライアンスを提供するように設計されており、プリプリントアプリケーションにとって信頼性が高く効率的な選択肢です。
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