中古 AKRION 9200 / 9200A #9105637 を販売中

AKRION 9200/ 9200Aウェットステーションは、生産可能な半導体デバイス向けの高性能ウェットエッチングおよびクリーニングソリューションを提供するために設計された高精度で高性能なウェット処理装置です。このシステムは、最先端の技術と堅牢なプロセス制御ソフトウェアを使用して、高精度の結果を伴う厳密なプロセス制御を実現します。このユニットは、湿式加工チャンバー、基板ホルダー、溶液処理ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウェット処理チャンバーには、高度でデジタル制御された熱制御およびフロー制御要素が装備されており、エッチングとクリーンな結果の均一性を確保します。さらに、コントローラは最大30個の標準化されたレシピを保存することができ、ユーザーはソリューション温度、サイクルタイム、エッチング時間、リンス時間など、複数のパラメータでプログラムすることができます。基板ホルダーは、加工中に基板を所定の位置に保持する責任があります。リムーバブルフレームを内蔵しているため、複数の基板を簡単にマシンに挿入できます。さらに、コントローラには、回転、前後移動、パルス持続時間など、さまざまなモーションコントロール機能が搭載されています。9200/ 9200Aウェットステーションには、正確なソリューションの提供と乾燥のための高度な自動ソリューションハンドリングユニットも備えています。このユニットは、エッチングとリンス溶液を基板ホルダーに供給するためにポンプのセットを使用し、溶液の流れを正確に制御するために超音波スプレーノズルのセットを使用します。ユニットの洗練されたソフトウェアは、チャンバー内に放出されるソリューションの正確なリアルタイム監視と分析を保証します。また、レーザーベースの厚さ測定アセットに信号解析機能を内蔵しているため、加工前に膜厚を正確に測定できます。この機能により、エッチング処理を最適化し、ターゲットの厚みを正確に達成できます。最後に、AKRION 9200/ 9200Aウェットステーションは、安全な運転を確保するための統合安全対策も備えています。これらの対策には、開いている間にチャンバーに入る手を守るopto-safety機能と、設定されたパラメータの外にある場合にユーザーに警告する温度および圧力センサーが含まれます。要するに、9200/ 9200Aウェットステーションは、生産可能な半導体デバイス向けの一貫したエッチングおよびクリーニングソリューションをユーザーに提供するために設計された、高性能で精密なウェット処理モデルです。この装置は、堅牢な熱流制御、高度なモーションコントロール、自動化されたソリューションハンドリングユニット、レーザーベースの厚さ測定、および効率的で安全な操作のための統合された安全機能を備えています。