中古 ZYGO NewView 6000 #9279845 を販売中

ZYGO NewView 6000は、高解像度のイメージングと自動欠陥検出を提供する強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。サブミクロン分解能で最大300mm （mm）のサンプル検査が可能で、半導体業界の検査用途に最適です。このシステムは、イメージング、照明、フォーカス制御に高解像度のステレオ光学を使用しています。独自の振動CCDカメラを搭載しており、トップダウン用とボトムアップイメージング用の2台のカメラをフルエリアスキャンと同時に操作できます。このユニットは、1。0、1。2、1。5、2。0、2。5、3。0および6。0ミクロンのサブミクロン水平解像度、および0。5、1。0および1。5ミクロンの垂直解像度を達成することができ、非常に正確で信頼性の高い最高解像度でイメージング機能を提供します。欠陥検出の観点から、このマシンには一連の自動化されたツールと、欠陥を迅速かつ正確に検出できる高度なアルゴリズムが含まれています。フォトマスクとウエハオーバーレイの比較機能、壊れたセンタリング検出、埋め込みフィーチャー用ウェハスキャンイメージング、汚染、厚さの変化、エッジ欠陥による拒否機能を備えています。使いやすいユーザーインターフェイスにより、テスト用のサンプルの迅速なセットアップと準備が可能です。このツールには、データ探索および欠陥解析のためのさまざまな最適化ツールと分析機能も付属しています。これは、より包括的な資産テストと特性評価のための外部試験装置の範囲と統合することができます。最後に、モデルはモジュール構造で設計されており、必要に応じてさまざまなコンポーネントを追加して交換することができます。また、画像の取得と分析、ライブモニタリングと制御のためのさまざまなソフトウェアパッケージとも互換性があります。NewView 6000は、高解像度のイメージングと自動欠陥検出を提供する強力なマスクおよびウェーハ検査装置で、さまざまな検査アプリケーションに最適です。