中古 WYKO / VEECO SP 3000 W #9241021 を販売中
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WYKO/VEECO SP 3000 Wはウェハテストおよび計測機器です。パターンウエハーおよびアンパターンウエハーの薄膜光学特性の精密な検査および定量分析用に設計されています。WYKO SP 3000 Wは、WYKO 4インチプラテンとウエハハンドリング機能用のVEECO 4インチプラテン、薄膜光学特性を測定するための低光ベンチトップフォトメータ、自動測定および分析用の自動ソフトウェアスイートなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。WYKO/VEECO 4インチプラテンは、カセットからWYKO 4インチプラテンへの信頼性の高いピックアンドプレース機能を提供する電動ウェハハンドリングシステムです。3。5インチから4インチまでの幅広いウエハサイズに対応し、内蔵真空ユニットによる自動はんだ付け、接着剤の分注、アライメントが可能です。VEECO 4インチプラテンは、正確なアライメント、動き、速度、圧力を提供するヘビーデューティウェハハンドリングマシンです。カセット内で最大20個のウェーハを処理でき、自動化されたエッジマッピングツールと、アライメントとパターン認識のためのフォトメトリックアライメントメカニズムを備えたウェーハサンプルマッピングを提供します。ウェーハ上の薄膜光学特性の測定には、低照度ベンチトップフォトメータを使用しています。レーザーと分光法を用いて、パターン化された表面やパターン化されていない表面からの反射率、透過率、吸収度を測定する精密機械装置です。また、面粗さを測定することができ、自動化された操作のためのコントロールパネルを介して管理することができます。また、VEECO SP 3000 Wは、自動測定と分析を可能にする自動ソフトウェアスイートを提供しています。このスイートには、パターンとウェーハマッピング、キャリブレーション、データ分析などの資産設定を制御するグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれています。また、1つのレポートにさまざまな測定値をコンパイルして、見やすく印刷することもできます。SP 3000 Wは、パターン化されたウェーハおよびパターン化されていないウェーハの薄膜光学特性の信頼性と正確な分析を提供する高度なウェーハ試験および計測モデルです。電動ウェハハンドリング機能、光学測定装置、自動化されたソフトウェアスイートは、包括的で直感的で使いやすいシステムを探している研究者やエンジニアにとって理想的な選択肢です。
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