中古 WYKO / VEECO RST+ #67577 を販売中

WYKO/VEECO RST+は、半導体ウェーハの特性評価のためのウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ材料の光学特性と電気特性の両方を測定するために設計されており、さらなる分析と計装製造のための貴重なデータを提供します。このユニットは、Eximerレーザースキャン技術とマルチプローブ技術を利用した試験ユニットに基づいた計測ユニットで構成されています。測定ユニットは、結晶の向き、質感、表面とエッジの品質、厚さの均一性、表面反射率、地形の高さなど、幅広いパラメータを測定することができます。これは30mm/secまでのスキャン速度で行うことができ、2。5nm （2シグマ）±の高精度で再現可能な結果を達成します。また、3Dで画像を撮り、その結果を立体的に表示することもできます。この機械は、シリコンからヒ素ガリウムまで、さまざまな材料タイプを検査することができます。このテストユニットは、電気およびオプトエレクトロニクス試験にマルチプローブ技術を使用しています。これには、ゲート漏れ電流、ゲート容量、ゲートドレイン容量、漏れ電流など、幅広いパラメータの電気特性が含まれます。これは± 0。5fAの精度で行うことができます。また、光学寿命や光子対キャリア移動率などの光電子特性を測定することができます。スキャン速度は最大30プローブ/秒で、このツールは単一のウェハの電気特性と光学特性の両方を分析できます。WYKO RST+アセットは、ウェーハ材料の光学特性と電気特性の両方について、正確で再現性のある測定結果を提供します。計測装置と試験装置は完全に自動化されており、迅速な測定を可能にし、さらなる分析と製造のための貴重なデータを提供します。このモデルは、さまざまな材料タイプを分析することができ、光学パラメータと電気パラメータの両方で高い精度を持っています。