中古 WYKO / VEECO RST #160187 を販売中

WYKO/VEECO RST装置は、半導体ウェーハの検査および特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測システムです。ウエハフィルム、インタフェース、その他の層の非接触計測を高精度かつスループットで提供することができます。このユニットは、高度で高精度な光学散乱計を使用して、接触せずに試料ウェーハの特性を測定します。光学散乱計は、反射光強度と角度分布測定の組み合わせを利用して、ナノメートルレベルのフィルムと表面を特徴付けます。また、ナノメートル分解能で特徴を測定する機能を備えています。WYKO RSTマシンは、非常に高速な測定サイクルの需要を満たすように設計されています。これにより、ツールは非常に効率的で、信頼性の高い結果を迅速に提供できます。また、遅延を回避しながら、各ウェーハをより多くの測定を行うことができることを意味します。高速に加えて、VEECO RSTアセットは、高い測定精度と再現性を提供し、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。このモデルには、高速データ分析、自動化されたパス/フェイルの決定、およびレポートを提供する高度なソフトウェアツールが含まれています。すべてのデータは光学散乱計から収集され、その後、簡単にアクセスして理解するために処理され、保存されます。RST装置はまた、テストをスピードアップするための幅広いサンプル処理オプションを提供します。ロボット化されたステージは、サンプルを制御された方法で、迅速かつ正確に正しい測定位置に配置します。自動ローディングとアンロードも手作業を削減し、全体的なプロセスをスピードアップします。WYKO/VEECO RSTシステムは、各ユーザーの要件に合わせた柔軟なパフォーマンスを提供します。包括的なソフトウェアとハードウェアのカスタマイズにより、ユニットは信頼性の高いテストと計測を提供することができました。高速サイクルタイムと高性能データ解析により、3D計測、画像解析、ウェハチェック、表面特性評価、欠陥検出などのアプリケーションに最適です。