中古 WYKO / VEECO NT 9800 #293618091 を販売中

ID: 293618091
Profiling system, parts system.
WYKO/VEECO NT 9800は、個々のウェーハおよびウェーハスタックの表面特性を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、ナノメートルスケールの解像度で、今日市場で入手可能な最高品質と精度の測定を提供します。WYKO NT 9800には、高解像度カメラと様々な特殊レンズを使用してウェーハ表面の特徴を捉えたリバースマウント型大視野光学顕微鏡を搭載しています。その高度なイメージングソフトウェアは、60nmのサイズの表面フィーチャーを正確に定量化することができます。1つのウエハの地形を測定し、積み重ねたウエハにかかるダウンフォースを測定することができます。VEECO NT 9800は、ウェーハに力を加えるために使用される高精度ロードセルを搭載し、ダウンフォースと平坦度を正確かつリアルタイムに測定できます。さらに、抵抗、破壊電圧、接触抵抗、キャリアツーノイズ比など、ウェーハの電気特性を高精度に測定することができます。NT 9800に単位を構成し、ライトおよび測定プロセスを制御し、結果を見、レポートを発生させるのに使用することができるタッチ画面インターフェイスがあります。WYKO/VEECO NT 9800は、経験の浅いオペレータでも使いやすい直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。WYKO NT 9800は、過酷なクリーンルーム環境での使用を想定して設計されており、人員、機器、ウエハの安全性を確保するために、さまざまな安全性とESD保護機能を備えています。また、Ethernet、 USB、 RS232などの複数の接続オプションを備えているため、他のシステムと容易にインタフェースできます。VEECO NT 9800は、ウェーハ表面や電気特性の精密な特性評価に優れた機械であり、研究室や半導体製造など、高精度の測定が必要な業界に最適です。
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