中古 WYKO / VEECO NT 9300 #293602188 を販売中

WYKO/VEECO NT 9300は、信頼性試験、重要なプロセス監視、故障解析、プロセスデバッグ用に設計された高度なウェハテストおよび計測機器です。ソフトウェアコントロールモータと組み合わされた光学顕微鏡カメラは、さまざまな表面活動やデータ解析ツールを提供します。WYKO NT 9300のハードウェアは、イメージング用の高性能オプティクス、超精密ウェーハ検査用レーザー干渉計、さまざまな測定を行う回転ステージ、画像をキャプチャするためのデジタルビデオカメラ、およびモータースキャンおよびイメージング用の高精度トランスレータで構成されています。高度に自動化されたソフトウェアコントローラと組み合わせることで、表面形状、粒度、汚染物質、表面粗さ、特徴サイズ、密度など、さまざまなパラメータを正確かつ迅速に測定できます。VEECO NT9300は、品質とプロセス制御、スループットと再現性の向上、測定とサンプリングコストの削減を最大限に保証します。この機械の洗練されたソフトウェアには、自動データ取得やフィーチャーのサイズ、密度、均一性とピッチ、表面粗さと個々の膜厚の計算など、幅広い機能が含まれています。さらに、組み込みのパターン比較モジュールにより、プロセスの迅速な検証と評価が可能になります。NT 9300ツールは、最大フィールドサイズ32mm x 32mmの2 ″から8 ″のウェーハサイズに対応するように設計されています。この資産は、高度な光学素子と加工素子により、速度、精度、およびスループットの業界標準を超えています。SEMI-STD-1538-FおよびASTM B265-14との互換性により、フラットパネルディスプレイやMEMS IC製造などの顕著なパラメータの測定が容易になります。最高の精度と信頼性を確保するために、VEECO NT 9300は精密計測に最新の技術を取り入れています。革新的な6軸ピエゾストールタワーモーターを搭載し、最も正確で安定した残留振動性能を提供します。また、低熱感度の高精度リニアベアリングガイドを組み込むことで、精度と再現性をさらに向上させます。要約すると、NT9300は、精密な結果、スループットの向上、測定およびサンプリングコストの削減を実現する高度なウェーハ試験および計測機器です。計測における最新の技術により、このシステムは、最大フィールドサイズ32mm x 32mmの2 ″から8 ″のウェーハサイズに対応するように設計されており、ユーザーに統合された光学顕微鏡カメラ、レーザー干渉計、回転ステージ、デジタルビデオカメラ、および電動スキャンおよびイメージング用の高精度トランスレータを提供します。さらに、組み込みのパターン比較モジュールにより、プロセスの迅速な検証と評価が可能になります。