中古 WYKO / VEECO NT 9100 M #9208129 を販売中

WYKO/VEECO NT 9100 Mは、ウェーハおよび薄膜構造の非接触表面解析に最適な精度と精度を提供するために設計された精密ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動光学顕微鏡（AOM）、走査型電子顕微鏡（SEM）、静電容量イメージング（CI）などの複数のシステムを組み合わせて、ウェハ表面や薄膜構造の正確な解析を提供します。WYKO NT 9100 Mは3つの主要な部品から成っています；ステージ、照明ユニット、検出器。ステージは、最大1000 x 1000 mmのサイズのオブジェクトをサポートすることができます。これは、線形または回転のいずれかの方法で移動することができ、毎秒0。02マイクロメートルの速度で駆動することができます。これは、ウェーハ試験や計測に必要な高精度・高精度を実現するために必要です。照明装置は、表面分析に最適なコントラストを提供するために、可視光源または赤外光源のいずれかで構成されています。最後に、この検出器は、0。7 µmの解像度と80dB以上のSNRで2桁の大きさのダイナミックレンジを持つ照明ウェーハ表面から画像データを収集することができます。VEECO NT 9100 Mは、平面サーフェスと非平面ウェーハの両方を分析できます。このツールは、相対的な厚さ、フィルム接着、表面欠陥、およびトポロジーを測定することができます。また、ウェーハ表面のTiN沈着の発生を特定し、粒度と深さを測定することもできます。さらに、アセットは表面反射率を測定することができます。このデータはすべて、共焦点制御モデルを使用して記録されます。これを使用して、キャプチャされたデータを分析し、プロセス制御またはモデリングのための重要な指標を得ることができます。NT 9100 Mは、正確なウェーハテストと計測のための多くの機能を提供します。専用のコントロールワークステーションで遠隔操作が可能で、ウェハや薄膜構造の分析に物理的に存在する必要がありません。共焦点制御装置は安全で完全にカスタマイズ可能で、さまざまなアプリケーションの特定の要件を満たすために幅広い構成を可能にします。最後に、このシステムは、取得したデータのレポートと分析を生成するために使用できるさまざまなソフトウェアツールと分析パッケージを提供します。要約すると、WYKO/VEECO NT 9100 Mは、ウェーハおよび薄膜構造の非接触表面解析のために設計された精密ウェーハ試験および計測ユニットです。AOM、 SEM、 CIを組み合わせてウェーハ表面を正確に解析します。自動ステージムーブメントやカスタマイズ、遠隔操作、さまざまなソフトウェアツールや解析パッケージなどの機能を提供します。これらのすべての機能により、WYKO NT 9100 Mは、ウェーハ試験および計測に精度と精度を必要とするアプリケーションに最適です。