中古 WYKO / VEECO NT 8000 #293824503 を販売中

WYKO/VEECO NT 8000は、半導体ウェーハの非接触、非破壊解析を提供するウェーハ試験および計測システムです。ウェーハ測定の精度を最大化するために、データ取得と分析プロセスを自動化するように設計されています。WYKO NT 8000は、ウェーハの地形データと光学データの両方を取得するために、3軸エアベアリング位置決めシステムに搭載されたWYKO光ヘッドを使用しています。VEECO光学ヘッドは、レーザースキャン干渉計を使用して、光干渉を使用して表面地形を測定します。この干渉計は、非常に焦点を絞ったレーザービームでウェーハの表面をスキャンし、一連の断面画像を作成します。画像を分析して、ウェーハ上の各機能の地形を決定します。この情報は、表面粗さ、ステップ高さ、臨界寸法、およびその他の重要なプロセスパラメータを計算するために使用されます。NT 8000は「、トリプルビーム」技術を用いた先進的な光学系と3次元データ取得により、ウェーハの前後を同時に測定します。また、環境スキャン電子顕微鏡（ESEM）機能も搭載しており、ウェーハ上の非常に小さな特徴を分析することができます。VEECO NT8000は、取得したデータを処理するための幅広いデータ分析ツールを提供しています。Advanced Image Analysis Suite （AIA）は、画像から測定を抽出し、取得したデータのスペクトル分析を行うための画像処理ツールです。さらに、Spectral Resolution （SR）ソフトウェアを使用すると、取得したデータのスペクトル内容を定量化できます。WYKO NT8000は、散乱光、角分散計、3Dリソグラフィ地形測定などの高度な計測技術を提供しています。また、ウェーハ上の複雑な3D形状や地形を測定するために使用することができる高度な機能適合機能を提供する特殊な機能測定モジュールが組み込まれています。WYKO/VEECO NT8000は、超高真空（UHV）を含む標準化（空気またはクリーンルーム）および非標準などのさまざまな産業環境で動作するように設計されています。半導体業界における品質管理とプロセス最適化オペレーションに最適なツールです。