中古 WYKO / VEECO NT 3300 #9394877 を販売中
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WYKO/VEECO NT 3300は、半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。ナノスケール分解能スキャン顕微鏡を搭載し、1ナノメートルの解像度で画像を撮影することができ、高精度な測定が可能です。このシステムには、自動化された複数角度サーフェスプロファイル測定ユニットも含まれており、ユーザーは任意のサーフェスの3次元マップをキャプチャすることができます。WYKO NT 3300は、顕微鏡検査機能に加えて、一連の自動ウェーハテストシステムも備えています。これには、臨界寸法測定、トポロジー分析、汚染検出、オーバーレイ測定、傾き/回転測定のためのシステムが含まれます。自動化されたウェーハテストシステムは、複数のウェーハを同時に測定することができ、プロセス制御測定を完了するのに必要な時間を劇的に削減します。VEECO NT 3300には傾き/回転ステージもあり、サンプルを回転または傾けて表面をよりよく見ることができます。この機能は、MEMSやRF/マイクロ波などの3次元サンプルの測定に特に役立ちます。NT 3300には統合された画像解析ソフトウェアパッケージがあり、機械の顕微鏡で撮影した画像を自動的に解析することができます。この画像解析ソフトウェアは、ウェーハ表面の欠陥を検出するために使用することができ、ユーザーはあらゆる問題領域をすばやく特定することができます。WYKO/VEECO NT 3300は、プロセス制御測定用の強力で効率的なツールとして設計されています。ナノスケール分解能顕微鏡は詳細な画像と測定を提供しますが、一連の自動ウェーハテストシステムにより、複数のウェーハを1回の動作でテストすることができます。統合された画像解析ソフトウェアは、ウェーハの欠陥を特定するための便利なツールでもあります。傾き/回転ステージは、ユーザーが複雑なサンプルの改善されたビューを得ることができるようにすることにより、ツールの機能をさらに強化します。
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