中古 WYKO / VEECO NT 3300 #9304712 を販売中
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ID: 9304712
ヴィンテージ: 2004
Optical 3D surface profiler
Measurement technique:
Optical phase-shifting
White light vertical scanning
Interferometry
Measurement capability:
Three-dimensional
Non-contact
Surface profile measurements
COHU 1100 Analog camera
With digital interface board
Digital swap compatible res for 3300: 6612
Camera array size for 3300: 640 x 480
Upgraded LED for 3300
Objectives: 1.5x, 2x
Measurement array:
Maximum array: 736 x 480
Standard: 1000 x 1000
Light source: Tungsten halogen
Lamp: Automated filter selection
Stages:
Manual: ± 2"
X/Y Translation: 200 mm (± 50.8 mm)
Rotation: ± 90°
Tip / Tilt: ± 6°
Options:
Automated: ± 4" (101.6 mm)
X/Y Translation
Automated R/f
Rotation: 360°
Radius: 4" / 8" (101.6 mm / 203.2 mm)
Tip / Tilt head: Motorized / Automated
Optical assembly:
Integrated
Computer-controlled illuminator
Automated discrete zoom with magnification sensing
Automated stages
Closed-loop precision vertical scanning assembly
RS170 Video display: 230 mm
PC Computer
Processor: Pentium
SVGA Monitor, 17" (430 mm)
Live image stays up on SVGA through measurement
Processor: G5
Computer: Windows XP
(24) Monitors
Advanced analyzer
Stitching
Fast automation
GALIL 4-Axis controller
Stage: 8 x 8
Motorized nosepiece
With objective: 5x, 50x
LED Illumination
Performance:
Vertical measurement range:
Standard: 0.1 nm to 1 mm
Vertical resolution: <1A Ra
RMS Repeatability: <0.01 nm
Scan speed:
Standard: Up to 7.2 µm/sec (288 µin./sec)
Lateral spatial sampling: 0.08 to 13.1 µm
Field of view: 8.24 mm to 0.05 mm
Maximum slope: 25° to 1.8°
Reflectivity: 1% to 100%
Environment:
Temperature range: 15° to 30°C (59°F to 86°F)
Non-condensing humidity range: <80%
Power requirements:
Compressed air: 60 - 100 PSI
Input voltage: 100-120 VAC / 200-240 VAC, 50/60 Hz
Power consumption: <300 W
With stage: <400 W
2004 vintage.
WYKO/VEECO NT 3300は、ウェーハおよびその他の薄膜材料の構造と品質を調べるために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、さまざまな特殊部品が組み込まれており、さまざまなサンプルの種類を分析することができます。WYKO NT 3300は、それぞれ1 μ m、 0。1°の空間精度と角度精度で測定することができ、直径300 mmまでのウェーハ上で測定することができます。このユニットは、50 μ mまでの薄膜デバイスを検査するための高度なイメージング技術を提供しています。イメージングオプションは、さまざまな照明条件で画像をキャプチャすることができる高精度カメラの配列に基づいています。例えば、このマシンは明視野から暗視野に切り替えることができ、それ以外では見えない可能性のある欠陥を検出することができます。さらに、紫外線や赤外線などの非表示波長でのスキャンも可能で、サンプル表面のより包括的なカバレッジを提供します。VEECO NT 3300は高速、高分解能の顕微鏡を誇ります。その設計には、電動精密ステージと自動焦点技術が含まれており、サンプルを任意の場所に素早く移動または焦点を合わせることができます。このツールはさまざまな光学系とも互換性があり、測定およびイメージングタスクごとに最適な倍率を選択することができます。NT 3300は、そのイメージング機能に加えて、表面プロファイル計や3次元イメージングツールなどの高度な分析ツールを備えています。プロフィロメータは、表面形状のプロファイルを非常に高精度で測定し、表面仕上げ、粗さ、およびその他のサンプルの詳細を評価することができます。3次元イメージング技術により、複数の軸平面内のサンプルフィーチャーを可視化できます。結論として、WYKO/VEECO NT 3300はウェーハテストと計測のための強力で汎用性の高い資産です。その精密イメージングおよび分析ツールは、サンプルの構造と品質について正確かつ詳細な洞察を提供し、欠陥やプロセス関連の問題の検出と最適化を可能にします。
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