中古 WYKO / VEECO NT 3300 #9232802 を販売中

ID: 9232802
Optical profiler 3D Surface profilometry Motorized turret with (3) Objectives: 5x, 20x, 50x Operating system: Windows NT.
WYKO/VEECO NT 3300は、さまざまなデバイス特性を迅速に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムにより、エンジニアは重要寸法、オーバーレイ、平坦度、リーチ、リードピッチ、サイドウォール角度などの機能を測定できます。WYKO NT 3300は、新しいウエハーマウントユニットUltraGantryを使用しています。ウエハーマウントユニットは、キネマティック性能を向上させ、パラメトリックウエハハンドリング機能を自動化します。このマシンは、6インチから200mmまでの幅広いウェーハサイズをサポートしているため、半導体開発者に最適です。VEECO NT 3300には高速スキャナが搭載されており、迅速な目視検査が可能で、大きな表面を素早く検査することができます。このツールには、ジェントリースキャンと呼ばれる新しいスキャンモーションコントロール技術が含まれており、スキャンヘッドがウエハバックと接触しないようにします。これにより、汚染、傷、粒子などの歩留まり制限欠陥を迅速かつ信頼性の高い測定が可能になります。NT 3300は幅広いソフトウェアオプションを提供しており、エンジニアは資産をデータおよび測定システムに簡単に統合できます。回路特性の電気的特性を測定するElectrical Image Test Analysis (EITA)や、製品の製造を最適化するプロセスモデルを開発するための統計プロセス制御(SPC)などのソフトウェアツールがあります。WYKO/VEECO NT 3300は、多様な目的と最適化戦略をサポートする多目的光計測プラットフォームも備えています。このモデルは、オーバーレイアライメント、接触およびトレンチ領域、接触抵抗、絶縁、およびサイドウォール角度などの特徴を測定するために使用できます。また、テストパラメータを自動的に最適化し、テストおよび生産サンプルに最適な結果を得ることができます。さらに、WYKO NT 3300には一連のプロセス検証モジュールが組み込まれており、デバイスが最高品質の基準で製造されることを保証します。これには、静電放電(ESD)試験などのオプションが含まれ、製造プロセス中に電荷が蓄積されていないことを確認します。汎用性の高い機能セットと強力な測定機能を備えたVEECO NT 3300は、高精度で信頼性の高いウェーハ試験および計測機能をお探しのお客様に最適な機器です。
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