中古 WYKO / VEECO NT 3300 #293645434 を販売中

ID: 293645434
Optical profiler.
WYKO/VEECO NT 3300は、生産速度でウェーハを処理および分析し、効率的かつ正確なウェーハ試験を可能にするウェーハ試験および計測機器です。表面およびサイドウォールプロファイルの測定、地形測定、膜厚測定など、平面および3Dウェーハの寸法測定に使用できます。このシステムは、エッチング速度、平面性、オーバーレイなどのプロセス制御アプリケーション向けに設計されています。非接触光干渉計を使用して、2次元と3次元の両方の表面プロファイルを正確に測定します。特徴は数ナノメートルから数マイクロメートルまで及ぶことができます。WYKO NT 3300は堅牢で信頼性の高いソフトウェアプラットフォーム上に構築されており、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションを備えた統合ソリューションを提供します。VEECO NT 3300には高速光学ユニットが搭載されており、従来の方式に比べて最大250 μ m/秒の高速プロファイルスキャンが可能です。このマシンには、完全に自動化された校正ツールと完全な計測レポート機能もあります。高速スキャンアルゴリズム、低ノイズエレクトロニクス、高精度ステージ、透過および反射光学、高性能パターン認識など、幅広い計測ツールを提供しています。このアセットは、一度にウェーハごとに複数のサンプルを測定でき、同時に最大10個のウェーハを格納できるオンボードデータストレージを備えています。NT 3300は、ウェーハの移動やアライメントを含むソフトウェア制御のウェーハ処理と、サンプルステージの自動制御とマッピングを提供します。また、自動化されたモデル診断、合理化されたワークフロー管理、カスタマイズ可能なレポート生成も備えています。さらに、この装置は、複数のサンプルにわたって均一な温度性能のための環境制御を統合しています。要約すると、WYKO/VEECO NT 3300はウェーハテストと計測のための信頼性の高い高速システムです。数ナノメートルから数マイクロメートルまでの特徴を測定できる非接触光干渉計と、スキャン速度が最大250 μ m/秒の高速光学ユニットを備えています。また、ワークフローの強化、便利なデータストレージ、高度なサンプル処理機能も提供します。プロセス制御アプリケーションに適した高度なウェーハ試験および計測機です。
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