中古 WYKO / VEECO NT 2000 #88213 を販売中
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ID: 88213
ヴィンテージ: 1990
Optical profiler
Optical Phase-Shifting and Vertical Scanning Interferometry (VSI and PSI mode), Auto Focus
6"x6" X, Y Stage
Motorized Tip/Tilt stage
Motorized Filter
Objectives:
Mirau 5.0X interf objective lens (Optional 50.0X)
FOV: 1X, .75X, A (Optional .4X or .5X)
Auto Sensing 4-position Motorized Turret, Field of View variable up to 8mm
Stage: X/Y 6"x6", 6° Tip/Tilt, fully motorized for automated surface measurements
Auto Focus module included (Optional from Veeco)
Light Source: Tungsten halogen Lamp, automated filter selection
Video Display: 9 in. (230mm) Black and White monitor
Computer System: PC with Pentium Pro. Processor. SVGA monitor (LCD included)
Software: Wyko Vision-32 under Windows XP-Pro
Vertical: 0.1nm to 150 um, measure range to 2mm (.0.08 in.); Vertical Res. < 1 A Ra. Scan speed up to 7.2um/sec
Applications:
Functional surfaces, Alum. & Steel, Ceramics, Plastics, Films, Foil, Flip-Chip, Semiconductor, Optics, Coatings, Fiber, Flexo, Silicon Sensors, Biomedical, Photo resist.
Active TMC isolation table is available at additional cost
Unit has been calibrated.
WYKO/VEECO NT 2000は、半導体材料の電気特性を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。WYKO NT 2000は、電気パラメータの正確な制御と測定を提供することで、製造プロセスの最適化とウェーハ収率の向上に役立ちます。VEECO NT 2000は、精密な微細モーションコントロールと高解像度の高速ビジョンシステムを備えた多軸モーションテーブルを備えています。また、高精度の機械モータや電気モータを搭載し、ウェハの位置や動き、電気特性を正確に制御します。また、0。1ミクロンの精度でウェーハ特性を測定する高精度の光学センサを搭載しています。NT 2000は、自動化された操作と手動操作の両方が可能であり、動作パラメータを正確に制御することができます。この機械には、幅広い光学および電気測定技術を含む強力なデータ収集および分析ツールが装備されています。このツールは、目視検査から高度な電気測定まで、さまざまな試験手順を実行できるため、精密測定に特に適しています。表面マッピング、シート抵抗測定、電流電圧（I-V）特性評価、誘電特性解析などがあります。WYKO/VEECO NT 2000は、高度なアルゴリズムと統計手法を用いて、ウェーハ障害の原因となる小さな欠陥やサイズの変化を正確に検出することができます。WYKO NT 2000は、最大400°Cの温度でウェーハを試験することができ、ガリウムヒ素（GaAs）、インジウムリン化物（InP）、シリコン（Si）など、さまざまな種類のウェーハに使用できます。自動化された幅広い設定により、製造プロセスの迅速で高精度な計測に最適です。VEECO NT 2000の高度な設計により、さまざまな複雑な測定を行うことができます。さらに、直感的なユーザーインターフェイスと高度なデータストレージ機能により、操作とメンテナンスが容易になります。NT 2000は、再現性と信頼性の高い性能を提供し、幅広い材料やプロセスで使用することができます。半導体メーカーやデバイスメーカーに欠かせない、パワフルで汎用性の高いツールです。
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