中古 WYKO / VEECO NT 1100 #9409914 を販売中
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WYKO/VEECO NT 1100は、ウェーハ試験および計測用途に特化して設計された非接触、3軸スキャン結晶システムです。高度な光学、自動化されたステージ制御、特許取得済みのスキャンソフトウェアを組み合わせることで、ウェハレベルのイメージング、分析、デバイス特性の制御において、これまでにない機能をユーザーに提供します。WYKO NT 1100は、サブナノメータXYステージを使用してウェーハを光路に正確に配置し、ナノメートルの精度で3Dデータを収集することができます。システムの高度な光学パッケージには、レーザー光源とレンズの選択が含まれています。VEECO NT1100は、最大8つの光学角度と2つの同時高速収束角度を使用して、ウェーハの高速で正確なスキャンと測定を保証するツインオプティカルヘッドアセンブリを内蔵しています。統合されたユーザーフレンドリーなウェーハメトロロジーと分析ソフトウェアにより、ユーザーはデータを簡単に取得し、画像を取得し、比類のない精度で測定することができます。統合システムはまた、ユーザーがウェーハが焦点、平坦度、厚さ、抵抗、ドーパント濃度、表面積、傾きなどの所望の特性を満たすようにプロセスパラメータを指定することができるデバイス特性の正確な制御を提供します。WYKO/VEECO NT1100の統合プロセス制御機能は、半導体、MEMS、自動車、消費者産業に広く適用されており、ユーザーはウェーハ試験と計測の面で前例のないレベルの精度を達成することができます。さらに、WYKOは、自動マッピングシステム、ロードポート、イオン化および蒸着ツールなどのオプション機器を備えたウェーハ処理および分析サポートを提供し、ユーザーがウェーハの処理および分析機能を最大限に活用できるようにします。NT 1100は、独自の精度と精度の組み合わせにより、現代の製造環境で高い品質管理を実現するための強力なツールです。NT1100は、高解像度の3Dデータを迅速、正確、確実にキャプチャし、ウェーハテストおよび計測アプリケーションのワークフローを合理化します。
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