中古 WYKO / VEECO NT 1100 #293618484 を販売中

ID: 293618484
Optical profiling system.
WYKO/VEECO NT 1100は、半導体ウェーハ製造および材料研究用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの表面輪郭、およびその電気的、光学的、機械的特性を検査するためのさまざまな分析機能を提供します。WYKO NT 1100は、低力カンチレバーアセンブリを使用して表面平坦度とプロファイルの両方を正確に測定する高精度の自動スキャンプローブ顕微鏡(SPM)を備えています。これは、ウェーハ表面の詳細な画像をキャプチャするために使用できるデジタルイメージングユニットによって補完されます。別の計測機は、ウェーハの厚さ、平坦度、および表面粗さを正確に測定するために、光干渉技術を使用しています。VEECO NT1100は、さまざまな電気試験機能も提供しています。高精度のシート抵抗測定を行うための4ポイントプローブツール、静電容量と電圧特性評価用のキャパシタンスメータ、および電流-電圧および容量-電圧データを抽出するための電流および電圧源の両方が含まれています。さらに、紫外線・可視光源、フルスペクトル光源、ウェハトラッキング用の自動アライメントモデルなど、幅広い光学測定を提供します。この装置はモジュラーアーキテクチャで設計されており、生産ライン上のプロセスツールと容易に統合できます。高精度なモーションコントロール、統合診断、広範なデータ通信機能など、多くの高度な機能を備えています。VEECO NT 1100は、ウェーハ操作用の堅牢なモーターを備えており、ウェーハの読み込みと取り扱いを迅速かつ正確に行うことができます。NT 1100は、ラボでの性能に加えて、材料研究やデバイス開発の自動化にも適しています。オープンアーキテクチャにより、簡単にカスタマイズできるため、アプリケーション開発者は実験をすばやく設計および実行することができます。WYKO NT1100は、リモートまたはグラフィカルユーザーインターフェイスを介して制御することができ、リモートサイトで簡単に使用できます。全体として、WYKO/VEECO NT1100は、幅広いウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。モジュラー設計により、各アプリケーションの固有の要件に簡単に適応でき、高度な機能を備えているため、最高レベルのパフォーマンスを実現できます。
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