中古 WYKO / VEECO NT 100628 #9105204 を販売中

WYKO/VEECO NT 100628は、高精度ウェーハ試験および計測機器です。ドーピングレベル、ダイサイズ、ステップハイト、ストレスプロファイル、およびその他の半導体特性など、ウェーハの製造に関連するさまざまなパラメータを測定するように設計されています。WYKOは、特許取得済みの非接触光学プロフィロメトリー技術を使用して、さまざまな表面形状を極めて正確に決定します。これはフィールドエミッションスキャン電子顕微鏡（FE-SEM）と組み合わされており、ウェーハ製造に特化した包括的な試験および計測機能を提供します。システム部品には、WYKO NT 100628用のDBA （Data Acquisition Unit）環境エンクロージャ、光相シフター、電界放出走査型電子顕微鏡（FE-SEM）、振動音響スキャン、各種サンプルおよびステージ操作システムが含まれます。ウェーハの移動や操作には、Z軸ポジショナーが付属しています。このユニットは、Z方向に最大50mm移動することができ、試験および計測作業中に正確で安定したサンプルアライメントを提供します。VEECO NT 100628のFE-SEMは、自動化された画像最適化、スペクトルマップスキャン（画像コントラストを向上させる）、さまざまな放射電流レベルなどの機能によって、比類のない画像解像度と詳細を提供します。基板パラメータやフィーチャーサイズに関係なく、正確なウェハ特性測定が可能です。NT 100628の光学機械には、絶対高さまたは深さプロファイル、断面深さ制御による断面イメージング、および自動設計プロファイルを可能にする多数のスキャンオプションが含まれています。VEECO Vibro-Acoustical Scanner （VAS）は、独自に開発されたアルゴリズムを使用して形態的特徴と寸法を測定します。WYKO/VEECO NT 100628は、ウェーハ上に存在する層の厚さを測定するために使用される自動層厚プロファイラ（ALTP）も備えています。全体として、WYKO NT 100628は、半導体ウェーハの正確で信頼性の高い検査、分析、特性評価を容易にするための包括的な機能を提供するハイエンドウェーハ試験および計測ツールです。光学、FE-SEM、振動音響スキャン技術を組み合わせたこのユニットは、データ取得と分析を簡素化および高速化するために、さまざまな自動機能によって補完されています。VEECO NT 100628は、最も要求の厳しい半導体生産および研究環境のニーズに応えるために設計された堅牢で信頼性の高い資産です。