中古 WYKO / VEECO NT 1000 #162176 を販売中
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ID: 162176
Optical profiler
Bench top
Max. scan speed: 7.2 um/sec
Sample stage: 4" (100 mm)
Z-stage: manual
Optics: single objective or manual turret; manual field of view multipliers (FOV)
Manual focus
VSI and PSI mode
Machine metals
MEMS/ BioMEMS
Plastic and polymers
Glass and ceramics
Paper
Coating
Automotive parts
Biomedical devices
Statistical database
Customizable results
Full range of analysis tools
Interactive 2D and 3D displays
Texture analysis / S Parameters
Confinement parameters
Critical dimensions
Histogram
Step height
Volume
Multiple region analysis
Power spectral density
Magnification options: 5.0x, 10x, 20x, 50x with distance options from 3.5 mm to 9.5 mm.
WYKO/VEECO NT 1000は、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスの物理特性を分析するために設計された高度な表面計測およびウェーハ試験装置です。平坦度、膜厚、表面積、表面粗さおよび欠陥などの重要な表面パラメータを測定するための幅広い機能を提供し、非接触トポグラフィおよびイメージングを提供します。白色光干渉計(WLI)、走査型電子顕微鏡(SEM)、原子力顕微鏡(AFM)、プリズムカプラ技術(PCT)、フォトリソグラフィなど、さまざまな測定技術を組み合わせています。WLIを使用すると、サーフェストポグラフィをAngstromスケールレベルの精度にマッピングできます。SEMおよびAFMを使用して、微細な構造的特徴と欠陥を測定し、羽毛付きエッジ、ステップハイト、および小さな表面フィーチャーを視覚化できます。PCTにより、平坦度、膜厚、紫外線吸収を測定できます。フォトリソグラフィ機能は、イメージング機能を提供し、ウェーハ表面上の関心のある特徴を識別するためにも使用されます。WYKO NT 1000は、表面計測ツールのWYKOファミリーの中で最も先進的な製品で、ウェット面を測定するためのスプレーコーティングソリューション、真空チャックを必要とせずにサンプルを測定するための真空パックオプション、サンプルの目視検査を可能にする顕微鏡など、さまざまなオプションとアクセサリーを備えています。VEECO NT 1000は、高度な画像解析とコントラストの強化、データ管理とレポート作成のための強力なソフトウェアツールも提供します。ソフトウェアは、ユニットを制御し、複数の測定技術からのデータを同時に分析するように構成することができます。要約すると、NT 1000はマイクロ電子およびオプトエレクトロニクスデバイスの物理特性を分析するために設計された高度な表面計測およびウェーハ試験機です。重要な表面パラメータを測定するための幅広い機能を提供し、強力な画像解析およびデータ管理ツールを提供します。
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