中古 WYKO / VEECO 3306 #293650078 を販売中

WYKO/VEECO 3306は、すべての半導体ウェーハの物理的属性の制御と測定において、優れた精度と性能を提供する高性能ウェーハ試験および計測機器です。パターンラインなどウェーハの様々な特性を測定し、光学特性や画像解像度を解析します。WYKO 3306の単位は光学、検出器、XYZの段階および他の関連付けられた電子工学を含むいくつかの部品から成っています。機械で使用される光学系は無色とテレセントリックで、再現性と正確な測定を保証する最高の画質を提供します。機械に搭載された検出器とXYZステージは、高精度かつ高精度に設計されており、ツール全体の精度を保証するのに役立ちます。ウェーハの試験・測定に用いられる技術は、散乱計に基づいたものであり、これは光の回折の一種である。VEECO 3306は、設計レイヤーの線幅、構造特性、スキャンエリアなどをサンプルウェハ上で測定できます。また、加工終了後にウェーハ上の非表示特性を測定することで、エッチングプロセス結果の品質を検証することができます。このモデルは、サンプル上の構造物の深さ、および構造物のサイドウォール角度とプロファイルを正確に測定できるため、ユーザーは設計結果を正確に予測することができます。3306は、2ピクセルから3ピクセルの欠陥を自動的に識別することができ、テストおよび計測において可能な限り最高の品質を保証します。また、ステップハイト、プロファイル、画像強度変動などの3D構造情報を測定することもできます。WYKO/VEECO 3306は、あらゆる半導体ウェーハの物理的属性の制御と測定において、優れた精度と性能を提供できる、汎用性の高いウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの品質を正確に測定、分析、検証する必要があるユーザーに最適なソリューションを提供します。