中古 VIT V13KA #9219930 を販売中

VIT V13KA
製造業者
VIT
モデル
V13KA
ID: 9219930
Automatic Optical inspection systems.
VIT V13KAは、高精度の計測と欠陥ソートを提供するために設計された専用のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、3軸モーションユニットと統合された高度な垂直ウェーハステージに基づいており、x、 y、およびz軸での正確なウェーハ検査とソートを可能にします。VITは、触覚イメージング、光学イメージング、分光解析の組み合わせを使用して、ナノスケール分解能の欠陥ソートを可能にします。この機械は、サブナノメートル精度で、ウェハの3D構造を高精度でプローブすることができます。このツールの中核は、理論的およびデータ主導の計測ソリューションを組み込んだ専用のソフトウェアプラットフォームにあります。このソフトウェアは、高度なアルゴリズムと人工知能(AI)を利用してウェーハ表面を分析し、欠陥を特定することによって、ウェーハの評価と分類をユーザーに支援することができます。さらに、このアセットには、組み込みの欠陥ソート機能、自動意思決定のためのアルゴリズム、欠陥物理モデリングも付属しています。このモデルは、ウェハレベルのテストと計測に使用でき、複数の層に直接アクセスして分析を強化できます。本装置は、独自の光学イメージングシステムを採用し、ウェハのナノスケール特性を正確に検出することができます。光学モジュールはまた、マルチカメラのキャプチャのサポートを提供します。VITはまた、ウェーハのオンザフライスキャンを可能にする統合スキャンステージを提供しています。このスキャン機能は、高精度のエンコーダユニットによって可能になり、ウェーハ表面上の正確な軌道を維持し、迅速かつダイナミックなウェーハテストを可能にします。このエンコーダは、接触および非接触イメージングによる表面トポグラフィの正確な測定にも対応し、高精度の3D表面イメージングを可能にします。VITは、ナノスケール粒子、サブサーフェスボイド、その他の非表示表面欠陥など、さまざまな種類の欠陥を検出することができます。また、半導体、セラミック、石英、金属基板など複数のウエハータイプに対応することが可能です。さらに、VITは、カスタマイズされたウェーハ前処理、欠陥解析、後処理などのカスタマイズ可能なワークフローオプションをユーザーに提供します。さらに、このツールは統計プロセス制御(SPC)および分析データ処理にも使用できます。全体として、V13KAは包括的なウェーハテストおよび計測資産であり、ウェーハの検査および欠陥ソートを強化するように設計されています。このモデルは、高精度の計測および欠陥ソート機能を提供し、ナノスケールの分解能とさまざまな種類のウェーハ欠陥の検出を可能にします。組み込みソフトウェアと組み合わせることで、VIT V13KAは強力なウェーハ解析および試験装置です。
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