中古 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18 #9231379 を販売中

VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18
ID: 9231379
Non-contact metrology system.
VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18は、半導体産業の計測および品質保証ソリューションのグローバルリーダーであるKLA-Tencorによって開発されたウェーハ試験および計測機器です。VIEW ENGINEERING Voyager V18x18は、計測、地形、およびトラブルシューティングツールの包括的なスイートを提供します。その高度な光学レイアウトは、3つの異なる測定フィールドを組み合わせて優れたイメージング機能を可能にします。均一なフィールドデザインは、単一のランプで最適なカバレッジを保証しますが、六角形のフィールドデザインは広い視野でシャープな画像を提供します。GENERAL SCANNING Voyager V18x18は、KLA-Tencor独自の真空ゲージシステムをベースに、深さ5mmまでの高精度でシングルレンズ測定を提供します。このユニットは、柔軟なルートのための自動エリアカバレッジ測定とステッチを提供します。また、自動スティグメーションと自動MTF(変調伝達機能)補正設定も備えており、プロセス特性の最適化に役立ちます。このツールのオープンアーキテクチャは、さまざまなツールやビュータイプを切り替えることで柔軟性を提供します。高度な3D計測モードは、最大信頼性の測定値を使用して精度を向上させ、サンプル間またはツール間の調整を行うことができます。高速位置決めとモーションコントロールアセットは、高度な並列センサも提供し、自動並列調整と真の測定を可能にします。このモデルは、高度なレベルのスキャンとマッピングのための事前決定された介入スポットに使用できます。アクティブズームおよびファインズームモジュールは、精度の高い分解能と安定性の向上により、最高の精度を提供します。Voyager V18x18装置は、自動相関チャート、包括的なカバレッジ分析マップ、分離測定、3Dスキャッタマップなど、幅広いレポート機能を提供します。スキャン、手作業による補正、強化された自動化機能により、完全に自動化されたプロセスに最適化されたソリューションを提供します。全体として、VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18は、優れた光学設計、高精度測定、高度な計測モード、および強力なレポート群によって最適な性能を提供するように設計された、高度なウェーハ試験および計測ユニットです。高度なオートメーション機能を備えたこのマシンは、半導体やその他の製造プロセスに適した選択肢です。
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