中古 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Benchmark 450 #9180602 を販売中

VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Benchmark 450は、半導体ウェーハ製造プロセスで使用するために開発されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、プロセス特性評価、ランプ速度決定、欠陥特性評価に適した独自の機能を提供します。VIEW ENGINEERING Benchmark 450 Scanning Electron Microscope （SEM）は、最新のハイパワー電子光学と新しいサンプルステージング技術を組み合わせた自動化ユニットです。これにより、サブミクロン機能の特性を効果的に測定し、クリティカルな寸法、ドーパント分布、ラインエッジ、エッチプロファイルを追跡できます。このマシンは、単純な2D表面測定から複雑な画像解析、電気特性評価まで、幅広い分析機能を提供します。このツールには、統合されたX-Yドライブと電動ステージが装備されています。この設定により、サブミクロン測定だけでなく、マクロスキャンを実行することができます。可変フォーカスビームにより、0。25ミクロンまでのフィーチャーサイズの高分解能イメージングが可能です。また、このアセットには高電圧電源が搭載されているため、低ダメージ機能の検出と解析が可能です。GENERAL SCANNING Benchmark 450モデルは、高度なオートメーションとイメージングソフトウェアも備えています。Sample Equipment Viewer （SSV）ソフトウェアを使用すると、ユーザーはオートメーションを簡単にプログラムしたり、イメージングパラメータをカスタマイズしたり、サンプルごとに最大100枚の画像をキャプチャしたりできます。また、測定データをリアルタイムで分析してレポートすることで、プロセスの不均一性をすばやく特定することができます。このシステムの光学系は、連続波電子ビーム動作用に特別に設計されており、優れた分解能と再現性を提供します。また、単結晶サンプルと多結晶サンプルの特性を測定するために、検出器の配列が取り付けられています。これらの検出器を使用すると、ドーパント分布、ラインエッジ、エッチプロファイルなどの機能の特性を素早く測定できます。Benchmark 450は、効率的で包括的な機能をユーザーに提供する費用対効果の高いウェーハテストおよび計測機です。このツールは、半導体プロセスの特性評価、ランプ速度決定、欠陥特性評価に適しており、世界中の何百もの生産環境で使用されています。このアセットは、優れた解像度、再現性、自動化されたソフトウェアも提供します。