中古 VEECO V200-Si #9254651 を販売中

VEECO V200-Siは、製造プロセス中の半導体の特性を監視するのに理想的なウェーハ試験および計測機器です。フロントサイドウエハとバックサイドウエハの両方を最大200mmまで扱えるように設計されています。この装置は、薄膜蒸着プロセスにおけるドーパント濃度および層厚を正確に測定するために必要な精度を提供します。このシステムは、原子力顕微鏡（AFM）、静電容量測定（ECM）、電子エネルギー損失分光法（EELS）など、ウェーハ表面のデータをキャプチャするさまざまな検出技術を備えています。AFMオプションを使用すると、VEECO V 200SIは表面形状情報と表面フィーチャーの詳細な画像を取得できます。ECMシステムとEELSシステムはAFMと組み合わされており、包括的な測定セットを提供し、ウェーハの特徴をナノメートルレベルの解像度まで分析できます。V200 SIには、データ分析プロセスを簡素化する解析および計測ソフトウェアも含まれています。このソフトウェアを使用すると、薄膜の特性を迅速かつ正確に測定および特性評価することができます。このソフトウェアは、プロセスデータをグラフ化し、ウェーハのパフォーマンスを追跡するために、さまざまな2次元および3次元チャートを生成するためにも使用できます。このユニットは、さまざまなサンプルハンドリングシステムと互換性があり、DEKTAK V-200 SIを生産ラインに簡単に統合できます。この機器には、適切な動作と一貫した結果を保証するための安全インターロックと自動校正機能も装備されています。さらに、VEECO DEKTAK V-200 SIを遠隔操作することができ、ユーザーはラボにいなくても設定やパラメータを素早く調整できます。要約すると、VEECO V- 200 SIは、ドーパント濃度、層の厚さ、および表面の地形を正確に測定できる高度なウェーハ試験および計測機です。半導体製造プロセスに信頼性の高いデータを提供するように設計されており、その安全機能、サンプルハンドリングシステムとの互換性、遠隔操作機能により、ウェハテストや計測に最適なツールです。