中古 VEECO V200-Si #9234710 を販売中

VEECO V200-Siは、小型ウェーハまたは大型ウェーハでの高速で再現可能な測定を可能にするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。VEECO V 200SIシステムは、ウェーハを処理するための実績のある光学および電気技術といくつかの300mmおよび200mm構成を組み合わせた統合計測プラットフォームを備えています。半導体、MEMS、 LED、およびその他の薄膜アプリケーション向けに業界をリードするプロセスとテスト機能を提供します。SIユニットV200、 X方向6mm、 Y方向20mmの計測動作範囲を持つ2軸ウェーハステージを備えており、最適なウェーハ位置決めが可能です。高精度のオプティカルアライメントマシンは、高速かつ再現性のあるウェーハの位置と測定用に設計されています。VEECO V200 SIには、ウェーハプリント性能を安定させるための高速レーザーオートフォーカス機構もあります。V200-Siは、スタンドアロンでの使用またはテスト/プローブプラットフォームへのマルチステーション統合のためのオプションを備えた、組み合わせ計測とテストの組み合わせのホストを備えています。これは、薄膜層の正確な厚さと高さの測定のために拡大画像を正確に測定するために使用される干渉計を備えています。また、ダイオード、トランジスタ、およびその他のマイクロエレクトロニクス構造の電気特性を測定するための4ポイントプローブツールを備えた電気試験機能も提供します。V- 200 SIアセットは、さまざまなプロセス/テスト条件に合わせてカスタム設計されています。その最適なエア・タイト環境は、試験および測定プロセス中の外部汚染を排除します。また、クローズドループの熱制御機能も提供しています。DEKTAK V-200 SIは、テスト/プローブプロセスを設定、監視、および制御するための直感的なユーザーインターフェイスを備えた強力なオートメーション機能を提供します。また、Molecular Beam Epitaxy （MBE）、 Atomic Layer Deposition （ALD）、 Chemical Mechanical Polishing （CMP）などのVEECOプロセスツールにシームレスに統合されています。V 200SIモデルは、市場で最も先進的なテスト/プローブプラットフォームの1つです。計測機能と電気試験機能を組み合わせることで、幅広い半導体プロセスおよび試験アプリケーションに最適な性能と精度を提供します。生産レベルのウェーハテストと計測ニーズに最適なプラットフォームです。