中古 VEECO / SLOAN V200-SL #9266835 を販売中

VEECO/SLOAN V200-SL VEECOが製造したウェーハ試験および計測装置は、半導体ウェーハの電気特性を試験および測定する際に最高の精度を提供するように設計された高精度で高精度な機器です。このシステムは人間工学に基づいた機械設計で構築されており、正確で高速な30kV電子光学系を駆動し、安定した信頼性の高いイメージングと測定を実現しています。ナノメートル内での精度を確保した高度なパルス制御により、最高解像度でも動的な時間測定が可能です。さらに、動的で自動化されたサンプルステージを備えており、さまざまなアプリケーションとカスタマイズされたオペレータインターフェイスを簡単に管理できます。このユニットは、直感的な操作とスモールスポットスキャン測定機能のための直感的なパラメータベースのソフトウェアを提供します。また、伝導電圧（G-V）曲線、ゲート漏れ電流、デバイス伝送率、動的誘電率、およびI-V曲線を含む包括的なin-situ電気解析を提供します。精密で信頼性の高い試験と計測のために、機械には10µm分解能の高度な顕微鏡が装備されています。また、ビーム電流補償、自動欠陥解析、自動スレッショルド設定、プログラム可能なウェーハステージなど、精度と分析を向上させるために設計された多数の機能を備えています。このツールは、1つのチャンバーと2つのチャンバーを備えた2つの別々の構成で利用できます。シングルチャンバーバリアントには76mmウェーハステージ、2チャンバーバージョンには150mmウェーハステージが含まれています。各チャンバーには、独自の統合された静的測定システムと動的電気測定システムがあります。SLOANのVEECO V200-SLウェーハテストおよび計測資産は、高度な測定精度と信頼性を提供するように設計された包括的な機器です。直感的な操作と包括的な現場電気分析により、高精度の半導体試験と計測に最適です。