中古 VEECO / SLOAN V200-SL #195871 を販売中

VEECO/SLOAN V200-SLは、正確で信頼性の高いプロセス制御性能を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。強力な光学系とソフトウェアを統合し、包括的な分析と再現性を提供する標準プラットフォームに基づいています。このシステムは、計測プラットフォーム、計測サブシステム、およびユーザーインターフェイスで構成されています。計測プラットフォームは、ビジョンユニット、ステージハードウェア、光学、位置決め、およびロボットの5つの主要なコンポーネントで構成されています。このビジョンマシンは、前方外観顕微鏡と側面外観顕微鏡の両方を使用しており、それぞれが完全なウエハ検査が可能であり、自動スポット検査機能も備えています。このプラットフォームは、UV、可視、および近赤外線スペクトルでの高分解能イメージングを可能にします。さらに、このツールは、細かい特徴と粗い特徴の両方に対処するために設定することができる可変形状エリアスキャンでスリップ検査をカバーすることができます。画像解析と処理を含む計測サブシステムは、プロセス制御パラメータを定量化および最適化し、ウェーハ品質の定性評価を提供する能力をユーザーに提供するように設計されています。計測サブシステム内の自動測定機能は、幅広いウェハ特性を測定および監視するように設計されています。さらに、お客様のアプリケーションに固有の特性を測定するための特定のソフトウェアオプションも利用できます。ユーザーインターフェイスは直感的で使いやすいように設計されています。さまざまなソフトウェア機能を通じて、ユーザーはデータにアクセスし、資産を制御し、収集された分析および測定のレポートを生成することができます。VEECO V200-SLは、長期間、ハイエンドのウェーハテストと計測性能のために設計された非常に汎用性の高い信頼性の高いプラットフォームで、高度なウェーハテストと計測機能を提供します。高度な機能、直感的なユーザーインターフェイス、システムの包括的な統合により、プロセス制御、研究、開発アプリケーションに最適です。