中古 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #9105704 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Siは、幅広いウェーハサイズに対応するように特別に設計された、高度で費用対効果の高いウェーハテストおよび計測機器です。高解像度、二軸プロファイル計測、およびウェーハデータの自動電子取得を提供します。V-200 Siは、クアドラントフォトダイオード技術(QPD)を使用して焦点を正確に制御し、ウェーハエッジ検出を最適化する自動焦点制御システム(AFC)を備えています。FFB (Feedback Based Stage Control)マシンも搭載し、薄膜計測に最適な温度勾配を提供します。フォーカスパラメータを自動的にキャリブレーションすることで、V-200 Siは再現可能なデータ精度と精度を保証します。V-200 Siには、25kHzのデータレートで複数のウェーハを同時に測定できる光学テーブルウェーハスキャナが搭載されており、高解像度のビデオ検査モードも提供しています。このスキャナは、ドリフト効果と環境ノイズを最小限に抑えてデータの再現性を向上させる振動絶縁テーブルを使用しています。このスキャナはまた、単一のステージを使用してさまざまなサイズのウェーハ間の測定パラメータを正確に調整するキネマティックインデックスツールを備えています。V-200 Siには高度なソフトウェアパッケージも含まれており、お客様の仕様に合わせてデータ取得を簡単にカスタマイズできます。このソフトウェアは自動的に表面の地形を計算し、欠陥、ステップ、溝、および接続のような特徴を検出し、定量することができます。これらのパッケージはまた、統計分析、傾向プロット、およびカスタマイズされたレポートを提供します。V-200 Siは、1回のショットで複数のウェーハを測定することをこれまで以上に容易にします。この最先端の資産は、お客様に卓越したデータ更新精度と高解像度画像と正確な計測結果を提供します。VEECO V200-SIを使用することで、お客様はテストおよび計測アプリケーションが最高の精度で処理されていることを安心できます。
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