中古 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #139116 を販売中
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ID: 139116
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Stylus Profiler, 8"
Range: 0.3-30mg stylus force
XY Travel: 8" x 8"
Rotation: 360º
Remote controlled video camera
Zoom range: 60x-420x
Vertical range: 25A - 2620A
Vertical resolution: 1A at 65KA, 10A at 655KA, 40A at 2620KA
Scan length: 50 microns to 200 mm
Automatic stage leveling
Maximum sample thickness: 45mm
Printer: Ominprint 426
Power: 120V, 5.5 amps, 50/60Hz
2001 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Siは、半導体業界で広く使用されている多機能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、手動測定と高度に自動化された試験および測定システムの間のギャップを橋渡しします。迅速なスキャン、高精度、およびV-200の所有コストの低い独自の組み合わせにより、ウェーハの重要なパラメータを最小限の時間と労力で迅速かつ正確に測定できます。このV-200により、ユーザーは包括的な測定および分析情報を迅速かつ簡単に取得できます。ユーザーフレンドリーなホイールメニューは、すべてのユニット機能に簡単にアクセスできます。この機械は、接着、ボイド、表面平坦性、欠陥などのウェーハの地形を測定することができます。さらに、このツールは、厚さ、表面構造、電気特性、光学特性などの物理的特性を測定することができます。さらに、V-200は、シリコン構造の応力を分析するだけでなく、酸化物、窒化物、ケイ酸塩材料を分析することができます。アセットは、正確さや精度を損なうことなく設計されています。V-200の精度は、温度制御ステージ、コリメータ光学、オートフォーカスモデル、モーター付きZ軸ステージなどの機能によって維持されます。さらに、この機器は、古典的なDektak測定システムの古典的な非接触スキャン機能と、半実験的およびcustimizedレシピを含むあらゆる種類のサンプルを読み取る機能を備えています。このV-200では、複雑なマスクやサンプルのオートフォーカス用のオートフォーカスやオートコリメーションなど、より高度な機能も提供しています。このユニットには、高度なフィルター加工技術が含まれており、ノイズを低減したシームレスな測定が可能です。画像イメージング機能により、ユーザーは関心のある領域を迅速かつ正確に検査できます。高速コントローラにより、最大2000ポイント/秒でのウェーハの高速データ収集が可能になり、1mmから120mmまでの広範囲の測定領域が可能になります。結論として、VEECO V200-SIは、半導体業界における高度な機能と幅広い用途を提供する多機能ウェーハ試験および計測機です。ツールの精度と速度は、一貫して正確な結果を保証し、テスト、計測、データ分析が必要な場合に理想的な選択肢となります。
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