中古 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9355839 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、ウェハテストおよび欠陥解析に関連するさまざまなタスクを実行するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、水平・垂直ステージの顕微鏡、位置精度の1µm超精密ステージ、高速リアルタイム画像取得ユニットなど、独自のハードウェアコンポーネントを備えています。この顕微鏡を使用して、直径300mmまでのウェーハの非接触光学計測を表示および分析することができます。画像取得機はフレーム、ライン、エリアスキャンモードに設定可能で、多種多様な表面の欠陥を正確に検出できます。さらに、このツールは、サブミクロンレベルの欠陥を検出するために、表面から3D情報をキャプチャするように構成することができます。VEECO DEKTAK IIAのステージは、ハイスループットテストのシナリオを処理することができ、1時間あたり最大10ウェーハの迅速なウエハテストを可能にします。このアセットは、最大直径300mmのウェーハに対応でき、安全なウェーハ保持のための真空ベースのクランピングモデルを備えています。この装置には、自動欠陥検出、レポート作成、並べ替え機能も装備されています。欠陥解析システムは、サンプルの地形画像と分光画像の両方を分析して欠陥を検出および分類することができます。さらに、欠陥位置、タイプ、サイズ、その他の特性に関する詳細な結果を提供することもできます。このマシンはEMC認定を受けており、さまざまなウェーハテストおよび計測ソフトウェアパッケージと互換性があり、効率的で信頼性の高いウェーハテストと計測を可能にします。このツールは、リモート診断や調整、ソフトウェアアップデート、スペアパーツ支援などの拡張サービスも提供しています。全体として、SLOAN DEKTAK IIAは、さまざまなウェーハおよび表面を測定および分析できる優れたウェーハテストおよび計測資産です。独自のハードウェアとソフトウェア機能を備えたこのモデルは、信頼性の高い正確なウェーハテストと計測機器を必要とする企業にとって理想的な選択肢です。
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