中古 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9123971 を販売中
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ID: 9123971
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1983
Programmable linear scanning system, 5"
Vertical resolution: 5 Angstroms
Scan time 4 to 65 sec
12.5 Micron radius stylus
Tracking force: 10 to 50mg
Data points: 1000
(3) Scanning speeds
Microscope standard: 70X
1983 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、高度なソフトウェアとハードウェアを使用してさまざまなウェーハを検出、測定、分析する多機能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、63mmから300mmの外径のモーター、フルレンジのセンサポート、独自のソフトウェアを備えた新しいイメージングユニットなどの高度なハードウェア構成オプションが装備されています。また、これまでにない精度で1Dプロファイルと2Dプロファイルの両方を測定できる強力な量子ノイズ顕微鏡を備えています。VEECO DEKTAK IIAは、生産環境向けに設計されており、再現可能な精度で1時間あたり最大200ウェーハを処理できます。リジッドな垂直ステージや洗練されたパターンモジュールなどの機能を備えており、試験および測定時に自動ウェハの向きと正確な位置決めを可能にします。さらに、サブナノメートル精度で最高の倍率で静的ウェーハ特性と動的ウェーハ特性の両方を正確に測定することができます。SLOAN DEKTAK IIAは非常に汎用性が高く、表面プロファイル測定、ウェーハ応力測定、自動光学検査、抵抗、接着、材料組成測定などのアプリケーションをサポートします。また、作業現場の任意の場所からアクセスできる使いやすいインターフェースとタッチスクリーンメニューを備え、非常にユーザーフレンドリーであり、あらゆるタスクに最大限の柔軟性を提供します。さらに、DEKTAK IIAは、SEMI、 IEEE、 JEDECなどの主要な業界標準と互換性があります。VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、市場で最も先進的な計測システムの1つであり、費用対効果が高く、信頼性が高く、かつ高精度なウェーハ製造測定を提供します。従来モデルと比較して優れた性能を発揮し、生産プロセスを迅速かつ正確に監視することができます。このウェーハ試験および計測機械は、あらゆる生産環境に最適であり、その汎用性と高度な機能により、研究および産業プロジェクトの両方に最適です。
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