中古 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9061410 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、半導体材料の最高精度測定用に設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。クリティカル・ディメンション（CD）、オーバーレイ・アライメント、プロファイル深さ、計測特性、誘電体および金属層の表面プロファイリングを測定するための最大限の測定精度を提供します。CDは1。5 nmから0。5 µmまで測定できます。VEECO DEKTAK IIAは、13 「x 6」の視野と、ウェーハのスキャンと評価に非常に長いZ軸の範囲を提供する大型トラバーシングプラットフォームを備えています。それは最高の正確さおよび反復性を提供する高分解能のピエゾ制御段階が装備されています。このユニットには、ブライトフィールドおよびダークフィールド画像検出システム、有害な光スクリーニング機能、および測定をターゲットにするための複数のレーザーが装備されています。このマシンは、測定中の精度を確保するためにウェーハ段の温度制御を提供します。その高度なステージコントロールアプローチは、正確なウェーハアライメントとストレートネス検証を可能にするインテリジェントアルゴリズムを利用しています。また、ヘッドコンタミネーションを最小限に抑えるためのセンサーとコントローラを内蔵しています。SLOAN DEKTAK IIAは、幅広いアーキテクチャやアプリケーションにわたって高いスループット、短いサイクルタイム、および精度を提供します。測定データを処理および収集するためのデジタルデータフィルタと配信ツールを備えています。また、このアセットにより、自動データトレーサビリティにより、ポストプロセス分析のためのデータを追跡できます。DEKTAK IIAは独自の画像認識アルゴリズムにより、優れたウェハツールアライメント精度を提供します。このモデルは、業界独自の校正方法を提供しています。また、統計機器、パターン認識、イメージング、データ分析機能を含む包括的なソフトウェアツールと、再現可能な測定を可能にする一連の自動テストを備えています。VEECO/SLOAN DEKTAK IIAは、半導体の試験および計測に最適なソリューションです。その高精度測定機能、高度なアルゴリズムとオートメーション、包括的なソフトウェアツール一式により、最新の半導体メーカーのニーズを満たす信頼性の高い強力な計測機器となります。