中古 VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK IIは、半導体業界のさまざまな用途に使用されるウェーハ試験および計測機器です。これは、自動スキャンまたは高解像度イメージング技術を使用して、線幅、リッジハイト、エッチング深さなどの物理的特徴を含む半導体ウェーハの特徴を測定します。このシステムは、2次元プロファイルデータ取得により、ウェハの表面形状を自動的に測定することができます。また、表面粗さ、反射率、接着性などの表面物性を測定することができます。このユニットは、光学プローブと電気プローブを組み合わせて、抵抗、静電容量、および電流漏れなどのウェーハの電気パラメータを測定します。スタイラス式のプロフィロメーターを使用して、突起、尾根、谷の位置を検出します。スタイラスは、0。1ミクロンの解像度で最大5マイクロメートルの特徴と高さを測定することができます。接触力顕微鏡を搭載し、最大0。1ナノメートルの測定機能を備えています。また、ウェーハ表面の平坦度、平坦度、および非均一性を測定することができます。CCDカメラと修正された非球面ビームプロファイル検出器を使用してウェーハ表面を画像化し、フォーム偏差角、ステップ高さ、傾斜精度などの他のパラメータを測定します。CCDカメラは校正され、高精度センサーで監視されます。このツールは、エッチング、成膜、洗浄、研磨、ドーピング技術の効果を測定することにより、さまざまな製造プロセスをテストする機能も提供します。また、高温（最大250C）および真空環境でテストを実行する機能も提供します。ユーザーは、直線や円から任意のパターンまで、さまざまなラインスタイルから選択できます。VEECO DEKTAK IIは、自動ウェハローディングとアンロードを実行することもできます。潜在的な汚染を低減するために設計されたウェハハンドリングアセットと、自動ウェハローディングとアンロードのためのロボティクスハンドリングモデルを備えています。さらに、高速PPG、 ESD、短時間解析、公称試験機能を使用したハイエンド性能を提供します。SLOAN DEKTAK IIウェハテストおよび計測システムは、半導体業界のさまざまな用途に使用されるツールです。表面形状、電気的パラメータ、表面粗さ、反射率、接着性など、さまざまな属性を測定することができます。また、コンタクトフォース顕微鏡、CCDカメラキャリブレーション、自動ウェハローディングおよびアンロードなどの高度なツールを提供し、信頼性の高い正確な表面解析と計測を実現します。