中古 VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK Iは、幅広い半導体プロセス制御ニーズに対応したウェハテストおよび計測機器です。システムは-35から350°Cまで温度の範囲で作動することができる精密テストされた測定のメカニズムが装備されています。VEECO DEKTAK Iウェーハ試験装置は、2つのハンドル、2つの調整可能な真空タブ、2つのステージ高さセレクターを備えたワークテーブルを備えています。真空タブを使用すると、試料ウェーハの直接接触および操作が可能になります。真空タブの構成は必要に応じて簡単に調整でき、さまざまな高さとサイズのさまざまなウェーハを可能にします。SLOAN DEKTAK Iは、最大± 5。0°および1nmステップ分解能の傾きと平面測定を備えたフルレンジの光学ウェハサーフェスマップを提供します。これにより、最高精度の表面画像を高解像度でキャプチャし、プロセス制御を最適化することができます。DEKTAK Iは、Scratch Pen、 XY Scanner、 Video MicroscopeなどのSurface Metrology Instrumentsと統合できる統合オートメーションインターフェイスも備えています。たとえば、スクラッチペンは表面検出と特性評価に使用でき、ビデオ顕微鏡は微小欠陥検査に使用できます。このユニットには、低接触力の高精度サンプルホルダーが含まれており、サンプル保護を提供しながら機械の熱均一性を最大化するように設計されています。VEECO/SLOAN DEKTAK Iにはユニークなフォーカスチップも含まれており、ウェーハ表面マップのフォーカスを調整できます。VEECO DEKTAK I Wafer Testing and Metrologyツールには、インデックス作成とスケーリング、プログラミングとテスト、エラー分析とレポート、および統計データの作成と管理など、資産のすべての操作を制御するための独自のソフトウェアパッケージも装備されています。結論として、SLOAN DEKTAK Iは、ウェハテストと計測のための高精度で信頼性の高いモデルであり、さまざまな半導体プロセスの中で究極の精度と精度を保証するさまざまな機能を提供します。