中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 8000 #175201 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 8000は、ウェーハ表面トポグラフィの高性能・高精度測定機器です。汎用性の高い設計により、幅広い種類のウェーハタイプとサイズで簡単にセットアップと操作が可能です。このシステムには、サンプルの表面プロファイルを正確に測定するためのピエゾトランスデューサが含まれています。スキャン速度は目的のスキャン解像度に応じて調整でき、スタイラスのヒントはさまざまな種類のサンプルに交換できます。VEECO DEKTAK 8000は、ウェーハの平坦度、厚さのばらつき、ステップ高さ、表面のスクラッチおよび汚染レベル、表面特性および平面性を測定することができます。また、地形の特徴を測定し、画像データを処理する包括的なパッケージを提供するビジョンユニットを装備しています。このマシンはまた、ユーザーに3D解析と統計測定機能を提供し、プロセス制御システムに供給するための包括的なデータパッケージを提供します。このツールは、サンプル表面を測定するためのモジュラースタイラスヘッドを取り付けた精密X-Yステージで構成されています。スタイラスヘッドには、信号プロセッサに接続された測定用のピエゾトランスデューサが含まれています。シグナルプロセッサは、ローデータをトランスデューサから一貫した信号に変換し、その後の分析に使用します。シグナルプロセッサには、複数の読み取りを迅速に行うための高速データ取得アセットも含まれています。ビジョンモデルには、スタイラスヘッドに取り付けられたデジタルカメラが含まれ、スキャンされたサンプル表面の写真を撮影するようにプログラムされています。カメラは画像処理ソフトウェアに接続されており、画像データを自動解析して表面の特徴やその他のパラメータを定量化することができます。SLOAN DEKTAK 8000は、さまざまなタイプの測定で精度と再現性を提供するように設計された高度なウェーハ試験装置です。幅広いアプリケーションに対応する汎用性の高いプラットフォームを提供し、研究開発チームのニーズに最適です。システムの高度な分析ツールと自動化されたシステムは、データ主導の分析を進めるために、データをすばやく取得、分析、可視化することができます。
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