中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9394873 を販売中
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販売された
ID: 9394873
ウェーハサイズ: 8"
Stylus profiler, 8"
X, Y Motorized stage, 8"
Theta: Manual
Stylus: 2.5 µm
PC: DELL T3500
Operating system: Windows XP
No isolation table.
VEECO/SLOAN DEKTAK 8は、ウェーハテストおよび計測システムのリーディングカンパニーです。これは「、垂直スキャン干渉計」またはVSIと呼ばれる技術を使用した高精度のステップ高さ測定装置です。このシステムは、ウェーハ表面の集積回路の垂直寸法を測定する高分解能ステージ、光学、コントローラを利用しています。VEECO DEKTAK 8には、特許取得済みの垂直モーションプラットフォームがあり、非常に小さな機能を高精度でスキャンできます。このプラットフォームは、0。25ミクロンの解像度を持つ高速ベクタドライブコントローラによって駆動され、SLOAN DEKTAK 8は、ウェーハ表面のフィーチャーの高さを正確に測定することができます。≤ 0.25 μm。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータが測定のための信頼性の高いデータをすばやく取得できるように設計されています。DEKTAK 8は最大15mm/sのスキャン制御速度を備えており、サブシステムにより幅広い測定が可能です。これには、地形、表面の質感、平坦度、高さの均一性、厚さの測定が含まれます。また、コンピュータ制御のビジョンツールを使用して、サンプル表面の高解像度画像を得ることができます。VEECO/SLOAN DEKTAK 8のオペレータワークステーションは、WindowsとMacの両方のオペレーティングシステムのサポートを含む完全に統合された資産です。これにより、幅広いグラフィカルデータ出力および画像処理機能に直接アクセスできます。ワークステーションはまた、ウェーハの詳細な分析のためのデータキャプチャと特別なビデオと編集機能を可能にします。VEECO DEKTAK 8は操作が簡単で、さまざまなソフトウェアツールを使用して生産性を最適化します。オートフォーカスと特許取得済みの機能により高精度を実現し、歪みを最小限に抑えます。出力データは、後でレビューと後処理のために簡単に保存することもできます。このモデルは、FDAおよびGMPに準拠しており、適用されるすべての環境基準を満たしています。全体として、SLOAN DEKTAK 8は、利用可能な最も先進的なステップハイトウェーハメトロジーシステムの1つです。独自の特徴と堅牢な設計と性能により、高度なウエハ測定や集積回路の厚さ解析など、幅広い用途に最適です。その高い精度、柔軟性、ユーザーフレンドリーな設計により、機器は競合他社よりも優れています。
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