中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9244494 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 8は、ウェーハレベルの形状の決定と特性評価において優れた精度と再現性を提供する高精度ウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、表面形状、ステップ高さ、抵抗、ドーピング、汚染、および熱機械的特性など、さまざまなウエハーパラメータを正確に測定することができます。VEECO DEKTAK 8は、2軸チルテーブルプラットフォームに搭載されたマルチセンサー水晶フォースセンサチップを使用した可変フォースプローブユニットです。サンプル表面のピッチ角とロール角の両方を測定することができ、Z高さ測定が可能であり、データの収集と分析を可能にするハイエンドのPCおよびデータ収集ソフトウェアが装備されています。このマシンには、ウェーハ上のテキストインプリントを簡単に処理して、サンプルのソースと向きを決定するのに役立つ光学文字認識が含まれています。SLOAN DEKTAK 8は、正確な表面プロファイリングのための高度な3Dイメージング技術を提供します。2D高プロファイル解像度5。2nm、抵抗測定用の5.0mV解像度を備えています。このツールは、200mmの寸法を測定でき、作業面積は100x45mmです。エアベアリングを内蔵し、優れた騒音・振動低減を実現しています。これは、ガイドとプローブヘッドの間に高温セラミック絶縁層を持つ、長期的な動作のために設計されています。DEKTAK 8は、0。15nmの長期精度評価と0。05nmまでの再現性を備え、堅牢で信頼性の高い設計です。優れた性能と機能を備えているため、高度なウエハテストと特性評価に最適です。